微处理机
微處理機
미처리궤
MICROPROCESSORS
2015年
4期
1-3,7
,共4页
失效分析%电子元器件%可靠性%失效机理%电性分析%物理分析
失效分析%電子元器件%可靠性%失效機理%電性分析%物理分析
실효분석%전자원기건%가고성%실효궤리%전성분석%물리분석
Failure Analysis%Electronic Components%Reliability%Failure Mechanisms%Electronic Analysis%Physical Analysis
随着电子技术的飞速发展，集成电路在各个领域的应用日益广泛，同时对集成电路提出了更高的质量要求，元器件失效分析在提高集成电路可靠性方面有着至关重要的作用。随着集成度的提高，工艺尺寸的缩小，失效分析所面临的困难也逐步增大。以实际工作为依托，对电子元器件的失效分析技术进行了研究与总结，把失效分析工作主要分成失效现象确认、样品制备和保存、电性分析和物理分析四部分，电性分析是物理分析的前提，物理分析的结果是电性分析的目的和佐证。在失效分析中，各个步骤工作配合应用，缺一不可。
隨著電子技術的飛速髮展，集成電路在各箇領域的應用日益廣汎，同時對集成電路提齣瞭更高的質量要求，元器件失效分析在提高集成電路可靠性方麵有著至關重要的作用。隨著集成度的提高，工藝呎吋的縮小，失效分析所麵臨的睏難也逐步增大。以實際工作為依託，對電子元器件的失效分析技術進行瞭研究與總結，把失效分析工作主要分成失效現象確認、樣品製備和保存、電性分析和物理分析四部分，電性分析是物理分析的前提，物理分析的結果是電性分析的目的和佐證。在失效分析中，各箇步驟工作配閤應用，缺一不可。
수착전자기술적비속발전，집성전로재각개영역적응용일익엄범，동시대집성전로제출료경고적질량요구，원기건실효분석재제고집성전로가고성방면유착지관중요적작용。수착집성도적제고，공예척촌적축소，실효분석소면림적곤난야축보증대。이실제공작위의탁，대전자원기건적실효분석기술진행료연구여총결，파실효분석공작주요분성실효현상학인、양품제비화보존、전성분석화물리분석사부분，전성분석시물리분석적전제，물리분석적결과시전성분석적목적화좌증。재실효분석중，각개보취공작배합응용，결일불가。
As the rapid development of electronic technology,the integrated circuit is more and more widely used in various fields,and higher quality for the integrated circuit is required.Electronic components failure analysis is extremely important for improving the reliability of integrated circuit.With the raise of integration and shrinking of process dimensions,the difficulties faced by failure analysis are also gradually increasing.Base on the practical work,this paper researches and summarizes the failure analysis technology of electronic components.The failure analysis can be divided into failure phenomenon confirming,sample preparation and preservation,electrical analysis and physical analysis.The electrical analysis is the premise of physical analysis,the result of physical analysis is the purpose and evidence for electrical analysis,and analysis procedures should be cooperated each other.
