电镀与精饰
電鍍與精飾
전도여정식
PLATING & FINISHING
2015年
8期
10-13
,共4页
非平衡磁控溅射%铝合金%类石墨镀层%硬度%摩擦系数
非平衡磁控濺射%鋁閤金%類石墨鍍層%硬度%摩抆繫數
비평형자공천사%려합금%류석묵도층%경도%마찰계수
unbalanced magnetron sputtering%aluminum alloy%graphite-like coating%hardness%friction coefficient
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在铝合金表面沉积类石墨镀层.采用原子力显微镜对镀层的微观形貌进行观察,采用划痕附着力测试仪对镀层的膜基临界载荷进行测试,利用维氏显微硬度计和销-盘摩擦磨损试验机对镀层的显微硬度及摩擦系数进行了测试.研究结果表明,基体偏压在-60V～-120V范围内,类石墨镀层以岛状方式生长,且随偏压值增大,镀层晶粒和粗糙度减小;随基体偏压值增大,镀层膜基临界载荷逐渐增大,摩擦系数逐渐减小,当基体偏压值为-120V时,镀层临界载荷为42N,硬度最高为235 HV0.025,摩擦系数为0.19.磨损机制由粘着磨损和磨粒磨损为主转变为以磨粒磨损为主.
採用非平衡磁控濺射離子鍍技術在鋁閤金錶麵沉積類石墨鍍層.採用原子力顯微鏡對鍍層的微觀形貌進行觀察,採用劃痕附著力測試儀對鍍層的膜基臨界載荷進行測試,利用維氏顯微硬度計和銷-盤摩抆磨損試驗機對鍍層的顯微硬度及摩抆繫數進行瞭測試.研究結果錶明,基體偏壓在-60V～-120V範圍內,類石墨鍍層以島狀方式生長,且隨偏壓值增大,鍍層晶粒和粗糙度減小;隨基體偏壓值增大,鍍層膜基臨界載荷逐漸增大,摩抆繫數逐漸減小,噹基體偏壓值為-120V時,鍍層臨界載荷為42N,硬度最高為235 HV0.025,摩抆繫數為0.19.磨損機製由粘著磨損和磨粒磨損為主轉變為以磨粒磨損為主.
채용비평형자공천사리자도기술재려합금표면침적류석묵도층.채용원자력현미경대도층적미관형모진행관찰,채용화흔부착력측시의대도층적막기림계재하진행측시,이용유씨현미경도계화소-반마찰마손시험궤대도층적현미경도급마찰계수진행료측시.연구결과표명,기체편압재-60V～-120V범위내,류석묵도층이도상방식생장,차수편압치증대,도층정립화조조도감소;수기체편압치증대,도층막기림계재하축점증대,마찰계수축점감소,당기체편압치위-120V시,도층림계재하위42N,경도최고위235 HV0.025,마찰계수위0.19.마손궤제유점착마손화마립마손위주전변위이마립마손위주.
