CAJ | 학술논문

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用。在半导体生产过程中，考虑到晶圆盒有可能受到的污染，生产流程中已经设置了晶圆盒清洗的标准步骤，即使这样，随着使用年限的增加以及异常晶圆和机台的影响，晶圆盒的污染问题已经不能够被正常的清洗步骤所能解决，出于对质量和成本的考量，晶圆厂有必要在最初晶圆厂制程设计的基础上加强对于晶圆盒污染的管理。本文着重探讨了晶圆污染的机理，检测方法以及污染的晶圆盒的重复利用。
정원합재반도체생산중주요기도방치화수송정원적작용。재반도체생산과정중，고필도정원합유가능수도적오염，생산류정중이경설치료정원합청세적표준보취，즉사저양，수착사용년한적증가이급이상정원화궤태적영향，정원합적오염문제이경불능구피정상적청세보취소능해결，출우대질량화성본적고량，정원엄유필요재최초정원엄제정설계적기출상가강대우정원합오염적관리。본문착중탐토료정원오염적궤리，검측방법이급오염적정원합적중복이용。