山东工业技术
山東工業技術
산동공업기술
Shandong Industrial Technology
2015年
18期
226-227
,共2页
重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂正性光致抗蚀剂%光化学腐蚀法%合成%成像实验
重氮萘醌磺痠酯-酚醛樹脂正性光緻抗蝕劑%光化學腐蝕法%閤成%成像實驗
중담내곤광산지-분철수지정성광치항식제%광화학부식법%합성%성상실험
本实验采用2,3,4-三羟基二笨甲酮作为接枝化母体,与2,1,4-重氮萘醌磺酰氯进行酯化,合成感光化合物,得到产物1.46g,测得熔点为143℃,并测定其红外光谱,之后再制得酚醛树脂-重氮萘醌磺酸酯正性抗蚀剂,然后进行成像实验,发现最佳曝光时间为90s,最小分辨率为10μm.
本實驗採用2,3,4-三羥基二笨甲酮作為接枝化母體,與2,1,4-重氮萘醌磺酰氯進行酯化,閤成感光化閤物,得到產物1.46g,測得鎔點為143℃,併測定其紅外光譜,之後再製得酚醛樹脂-重氮萘醌磺痠酯正性抗蝕劑,然後進行成像實驗,髮現最佳曝光時間為90s,最小分辨率為10μm.
본실험채용2,3,4-삼간기이분갑동작위접지화모체,여2,1,4-중담내곤광선록진행지화,합성감광화합물,득도산물1.46g,측득용점위143℃,병측정기홍외광보,지후재제득분철수지-중담내곤광산지정성항식제,연후진행성상실험,발현최가폭광시간위90s,최소분변솔위10μm.
