中山大学学报论丛
中山大學學報論叢
중산대학학보론총
Supplement to the Journal of Sun Yatsen University
2002年
5期
182~184
,共null页
等离子淀积炉 方案设计 金刚石膜 等离子枪 运动轨迹 传动方案
等離子澱積爐 方案設計 金剛石膜 等離子鎗 運動軌跡 傳動方案
등리자정적로 방안설계 금강석막 등리자창 운동궤적 전동방안
金刚石薄膜由于其极高的硬度和化学稳定性,并且透红外光特性和电阻率高的特性,广泛应用于机械、电子、光学、医学等领域.对采用氩氢等离子体电弧(即上电极)与碳氢化物在水冷成膜台(即下电极)上淀积金刚石膜的结构设计方案作较详尽的探讨,以物元分析法设计出较合理的传动方案,解决了工艺中的难题.
金剛石薄膜由于其極高的硬度和化學穩定性,併且透紅外光特性和電阻率高的特性,廣汎應用于機械、電子、光學、醫學等領域.對採用氬氫等離子體電弧(即上電極)與碳氫化物在水冷成膜檯(即下電極)上澱積金剛石膜的結構設計方案作較詳儘的探討,以物元分析法設計齣較閤理的傳動方案,解決瞭工藝中的難題.
금강석박막유우기겁고적경도화화학은정성,병차투홍외광특성화전조솔고적특성,엄범응용우궤계、전자、광학、의학등영역.대채용아경등리자체전호(즉상전겁)여탄경화물재수랭성막태(즉하전겁)상정적금강석막적결구설계방안작교상진적탐토,이물원분석법설계출교합리적전동방안,해결료공예중적난제.
