云南冶金
雲南冶金
운남야금
Yunnan Metallurgy
2015年
4期
69-72
,共4页
太阳能级多晶硅%辉光放电质谱法%准确度%精密度
太暘能級多晶硅%輝光放電質譜法%準確度%精密度
태양능급다정규%휘광방전질보법%준학도%정밀도
solar grade silicon%glow discharge mass spectrometry%accuracy degree%precision degree
采用辉光放电质谱法(GD-MS)测定太阳能级多晶硅中B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti等20个痕量杂质元素.研究了GD-MS测定多晶硅的预溅射时间,优化和选择了仪器的工作参数、分辨率和用于分析的待测元素同位素.并将分析结果与电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)的分析结果进行对照以验证GD-MS无标分析的准确程度.实验结果表明,GD-MS法对B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti等元素测定结果的相对标准偏差(RSD)都小于25％,二者测定结果基本一致.
採用輝光放電質譜法(GD-MS)測定太暘能級多晶硅中B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti等20箇痕量雜質元素.研究瞭GD-MS測定多晶硅的預濺射時間,優化和選擇瞭儀器的工作參數、分辨率和用于分析的待測元素同位素.併將分析結果與電感耦閤等離子體質譜法(ICP-MS)的分析結果進行對照以驗證GD-MS無標分析的準確程度.實驗結果錶明,GD-MS法對B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti等元素測定結果的相對標準偏差(RSD)都小于25％,二者測定結果基本一緻.
채용휘광방전질보법(GD-MS)측정태양능급다정규중B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti등20개흔량잡질원소.연구료GD-MS측정다정규적예천사시간,우화화선택료의기적공작삼수、분변솔화용우분석적대측원소동위소.병장분석결과여전감우합등리자체질보법(ICP-MS)적분석결과진행대조이험증GD-MS무표분석적준학정도.실험결과표명,GD-MS법대B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti등원소측정결과적상대표준편차(RSD)도소우25％,이자측정결과기본일치.
