强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
High Power Laser and Particle Beams
2015年
8期
85-91
,共7页
杨航%何建国%黄文%张云飞
楊航%何建國%黃文%張雲飛
양항%하건국%황문%장운비
磁流变抛光%去除函数%微分解耦%非球面%抛光斑演变
磁流變拋光%去除函數%微分解耦%非毬麵%拋光斑縯變
자류변포광%거제함수%미분해우%비구면%포광반연변
magnetorheological finishing%removal function%differential decoupling method%aspheric%spot transition rule
针对非球面光学元件连续变曲率的特点,提出了一种基于平面抛光斑演变获取非球面磁流变抛光去除函数的技术思路.通过分析磁流变抛光机理,建立了磁流变抛光多因素耦合作用模型.基于该模型提出磁流变抛光去除函数获取的微分解耦方法,实现对抛光斑形成机制中的几何因素解耦,发现当工艺条件变化较小时,在空间中的特定点处,去除效率的变化量与工件浸入深度的改变量呈线性关系.实验观测的20个点中,有17处决定系数在90％以上,另外3处在80％以上,峰值去除率和体积去除率演变的决定系数分别达到92％和94％,实验验证了这一结论.
針對非毬麵光學元件連續變麯率的特點,提齣瞭一種基于平麵拋光斑縯變穫取非毬麵磁流變拋光去除函數的技術思路.通過分析磁流變拋光機理,建立瞭磁流變拋光多因素耦閤作用模型.基于該模型提齣磁流變拋光去除函數穫取的微分解耦方法,實現對拋光斑形成機製中的幾何因素解耦,髮現噹工藝條件變化較小時,在空間中的特定點處,去除效率的變化量與工件浸入深度的改變量呈線性關繫.實驗觀測的20箇點中,有17處決定繫數在90％以上,另外3處在80％以上,峰值去除率和體積去除率縯變的決定繫數分彆達到92％和94％,實驗驗證瞭這一結論.
침대비구면광학원건련속변곡솔적특점,제출료일충기우평면포광반연변획취비구면자류변포광거제함수적기술사로.통과분석자류변포광궤리,건립료자류변포광다인소우합작용모형.기우해모형제출자류변포광거제함수획취적미분해우방법,실현대포광반형성궤제중적궤하인소해우,발현당공예조건변화교소시,재공간중적특정점처,거제효솔적변화량여공건침입심도적개변량정선성관계.실험관측적20개점중,유17처결정계수재90％이상,령외3처재80％이상,봉치거제솔화체적거제솔연변적결정계수분별체도92％화94％,실험험증료저일결론.
