石英微机械陀螺敏感芯片的抗振动分析与改进
석영미궤계타라민감심편적항진동분석여개진
Analysis and Improvement of Anti-Vibration Characteristic for the Sensitive Chip of Quartz MEMS Gyroscope
  • 万方数据
    压电与声光 압전여성광
    Piezoelectrics & Acoustooptics
    2015年 4期 554-557 ,共4页

    李文蕴%林日乐%满欣

    리문온%림일악%만흔

    石英微机械%陀螺%随机振动%有限元 石英微機械%陀螺%隨機振動%有限元
    석영미궤계%타라%수궤진동%유한원
    quartz MEMS%gyroscope%random vibration%finite element
    石英微机械陀螺是振动惯性器件,而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能.由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响,因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力.该文利用有限元仿真软件对敏感芯片结构进行随机振动仿真分析,通过对敏感芯片结构的优化,提高了陀螺的抗振动能力.
    석영미궤계타라시진동관성기건,이타라민감심편결구적항진동능력회직접영향타라적성능.유우공작배경적진동회대타라적성능산생일정적영향,인차수제고타라민감심편결구적항진동능력.해문이용유한원방진연건대민감심편결구진행수궤진동방진분석,통과대민감심편결구적우화,제고료타라적항진동능력.
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