理化检验-物理分册
理化檢驗-物理分冊
이화검험-물리분책
Physical Testing and Chemical Analysis Part A:Physical Testing
2015年
8期
555-559
,共5页
原子探针层析%背底%分析室真空度%成分分析
原子探針層析%揹底%分析室真空度%成分分析
원자탐침층석%배저%분석실진공도%성분분석
atom probe tomography%background%analysis chamber pressure%composition analysis
根据三维原子探针的工作原理,分析了样品分析室内真空度对测试数据质量的影响,并对核反应堆压力壳钢样品进行了试验分析.结果表明:分析室内的真空度与获得试验数据的背底呈明显的线性相关关系,真空度越高,数据的背底越低;当数据背底高时,在成分分析过程中会引入较大的分析误差,且元素的含量越低,其分析误差越大,尤其当元素原子分数低于0.05％时,其分析误差会达100％以上.因此,稳定维持分析室的超高真空,对于获得高质量的试验数据至关重要.
根據三維原子探針的工作原理,分析瞭樣品分析室內真空度對測試數據質量的影響,併對覈反應堆壓力殼鋼樣品進行瞭試驗分析.結果錶明:分析室內的真空度與穫得試驗數據的揹底呈明顯的線性相關關繫,真空度越高,數據的揹底越低;噹數據揹底高時,在成分分析過程中會引入較大的分析誤差,且元素的含量越低,其分析誤差越大,尤其噹元素原子分數低于0.05％時,其分析誤差會達100％以上.因此,穩定維持分析室的超高真空,對于穫得高質量的試驗數據至關重要.
근거삼유원자탐침적공작원리,분석료양품분석실내진공도대측시수거질량적영향,병대핵반응퇴압력각강양품진행료시험분석.결과표명:분석실내적진공도여획득시험수거적배저정명현적선성상관관계,진공도월고,수거적배저월저;당수거배저고시,재성분분석과정중회인입교대적분석오차,차원소적함량월저,기분석오차월대,우기당원소원자분수저우0.05％시,기분석오차회체100％이상.인차,은정유지분석실적초고진공,대우획득고질량적시험수거지관중요.
