红外
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홍외
Infrared
2015年
8期
5-8
,共4页
重掺As单晶硅%蒸发速率常数%线性回归分析%有效分凝系数
重摻As單晶硅%蒸髮速率常數%線性迴歸分析%有效分凝繫數
중참As단정규%증발속솔상수%선성회귀분석%유효분응계수
在采用柴式(Czochralski,CZ)法生长重掺砷(As)单晶硅的过程中,掺杂剂——As具有较强的蒸发性.为了有效抑制As蒸发对单晶硅电阻率的影响,需要测定As的蒸发速率常数.通过实验测量给出了晶体样块中As浓度随蒸发时间的变化曲线,然后对实验曲线进行了线性回归分析,得到了重掺As单晶硅制备中As的蒸发速率常数(1.43× 10-4 cm/s).该结果在实际应用中被验证是正确而有效的,这对精确控制重掺As单晶硅的电阻率有着重要意义.
在採用柴式(Czochralski,CZ)法生長重摻砷(As)單晶硅的過程中,摻雜劑——As具有較彊的蒸髮性.為瞭有效抑製As蒸髮對單晶硅電阻率的影響,需要測定As的蒸髮速率常數.通過實驗測量給齣瞭晶體樣塊中As濃度隨蒸髮時間的變化麯線,然後對實驗麯線進行瞭線性迴歸分析,得到瞭重摻As單晶硅製備中As的蒸髮速率常數(1.43× 10-4 cm/s).該結果在實際應用中被驗證是正確而有效的,這對精確控製重摻As單晶硅的電阻率有著重要意義.
재채용시식(Czochralski,CZ)법생장중참신(As)단정규적과정중,참잡제——As구유교강적증발성.위료유효억제As증발대단정규전조솔적영향,수요측정As적증발속솔상수.통과실험측량급출료정체양괴중As농도수증발시간적변화곡선,연후대실험곡선진행료선성회귀분석,득도료중참As단정규제비중As적증발속솔상수(1.43× 10-4 cm/s).해결과재실제응용중피험증시정학이유효적,저대정학공제중참As단정규적전조솔유착중요의의.
