深圳大学学报（理工版）
深圳大學學報（理工版）
심수대학학보（리공판）
Journal of Shenzhen University(Science & Engineering)
2015年
4期
350-356
,共7页
王东阳%贺威%李玲%翟剑庞
王東暘%賀威%李玲%翟劍龐
왕동양%하위%리령%적검방
晶体学%蓝宝石晶体%泡生法%晶体生长%LED衬底材料%晶体缺陷
晶體學%藍寶石晶體%泡生法%晶體生長%LED襯底材料%晶體缺陷
정체학%람보석정체%포생법%정체생장%LED츤저재료%정체결함
crystallography%sapphire crystal%Kyropoulos method%crystal growth%LED substrate%crystal defects
分析了泡生法生长大尺寸、光学质量蓝宝石单晶工艺,探讨了影响蓝宝石晶体生长的9大因素:①温场的轴向和径向温度梯度大小对晶体生长的影响;②氧化锆层对晶体质量的影响;③原料对晶体生长的影响;④籽晶的质量和晶向对晶体生长的影响;⑤引晶对晶体中残余应力、位错和晶界的影响;⑥放肩角度对晶体的影响;⑦等径生长速度对晶体的影响;⑧收尾拉脱与否对晶体质量的影响;⑨退火时间长短对晶体的影响.通过分析各影响因素,改进生长工艺,成功生长出70 kg蓝宝石单晶.对其进行表征发现,在晶体气泡、晶体方向和应力等方面均达到发光二极管芯片衬底要求.
分析瞭泡生法生長大呎吋、光學質量藍寶石單晶工藝,探討瞭影響藍寶石晶體生長的9大因素:①溫場的軸嚮和徑嚮溫度梯度大小對晶體生長的影響;②氧化鋯層對晶體質量的影響;③原料對晶體生長的影響;④籽晶的質量和晶嚮對晶體生長的影響;⑤引晶對晶體中殘餘應力、位錯和晶界的影響;⑥放肩角度對晶體的影響;⑦等徑生長速度對晶體的影響;⑧收尾拉脫與否對晶體質量的影響;⑨退火時間長短對晶體的影響.通過分析各影響因素,改進生長工藝,成功生長齣70 kg藍寶石單晶.對其進行錶徵髮現,在晶體氣泡、晶體方嚮和應力等方麵均達到髮光二極管芯片襯底要求.
분석료포생법생장대척촌、광학질량람보석단정공예,탐토료영향람보석정체생장적9대인소:①온장적축향화경향온도제도대소대정체생장적영향;②양화고층대정체질량적영향;③원료대정체생장적영향;④자정적질량화정향대정체생장적영향;⑤인정대정체중잔여응력、위착화정계적영향;⑥방견각도대정체적영향;⑦등경생장속도대정체적영향;⑧수미랍탈여부대정체질량적영향;⑨퇴화시간장단대정체적영향.통과분석각영향인소,개진생장공예,성공생장출70 kg람보석단정.대기진행표정발현,재정체기포、정체방향화응력등방면균체도발광이겁관심편츤저요구.
