电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
Equipment for Electronic Products Manufacturing
2015年
8期
15-18,50
,共5页
化学机械平坦化%抛光垫修整器%抛光垫%集成电路设备
化學機械平坦化%拋光墊脩整器%拋光墊%集成電路設備
화학궤계평탄화%포광점수정기%포광점%집성전로설비
抛光垫修整器系统是CMP设备的重要组成部分,它可以优化CMP的工艺结果,有效延长抛光垫的寿命;通过介绍抛光垫修整器装置的整体结构、机械结构、气动控制及建立数学模型,并利用Matlab软件进行仿真,得出全抛光垫均匀修整覆盖的模型,指出今后抛光垫修整器应具备更多功能,以满足抛光垫的修整需要.
拋光墊脩整器繫統是CMP設備的重要組成部分,它可以優化CMP的工藝結果,有效延長拋光墊的壽命;通過介紹拋光墊脩整器裝置的整體結構、機械結構、氣動控製及建立數學模型,併利用Matlab軟件進行倣真,得齣全拋光墊均勻脩整覆蓋的模型,指齣今後拋光墊脩整器應具備更多功能,以滿足拋光墊的脩整需要.
포광점수정기계통시CMP설비적중요조성부분,타가이우화CMP적공예결과,유효연장포광점적수명;통과개소포광점수정기장치적정체결구、궤계결구、기동공제급건립수학모형,병이용Matlab연건진행방진,득출전포광점균균수정복개적모형,지출금후포광점수정기응구비경다공능,이만족포광점적수정수요.
