真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
Vacuum Electronics
2015年
4期
23-27
,共5页
齐立君%陆艳杰%张小勇%郑剑平
齊立君%陸豔傑%張小勇%鄭劍平
제립군%륙염걸%장소용%정검평
蓝宝石%氧化铝%钨金属化%烧结
藍寶石%氧化鋁%鎢金屬化%燒結
람보석%양화려%오금속화%소결
Sapphire%Alumina%Tungsten metallization%Sintering
采用扫描电镜和X射线衍射仪对不同烧结温度和不同烧结次数获得蓝宝石钨金属化层进行了显微分析,进而探讨了蓝宝石钨金属化的机理.显微分析结果表明:蓝宝石钨金属化温度较低时,金属化层发黑、掉粉、体积收缩小;温度达到1850℃时,金属化层连续、致密,焊接后结构完整,界面清晰;温度达到1900℃时,金属化层液相外溢,表面龟裂;最佳烧结温度约1850℃.一次涂膏进行1450℃低温预烧结,再第二次涂膏进行1850℃高温烧结可以得到比较理想的金属化层.蓝宝石钨金属化过程包含化学反应过程和钨液相烧结过程,界面产物为Al5Y3O12.
採用掃描電鏡和X射線衍射儀對不同燒結溫度和不同燒結次數穫得藍寶石鎢金屬化層進行瞭顯微分析,進而探討瞭藍寶石鎢金屬化的機理.顯微分析結果錶明:藍寶石鎢金屬化溫度較低時,金屬化層髮黑、掉粉、體積收縮小;溫度達到1850℃時,金屬化層連續、緻密,銲接後結構完整,界麵清晰;溫度達到1900℃時,金屬化層液相外溢,錶麵龜裂;最佳燒結溫度約1850℃.一次塗膏進行1450℃低溫預燒結,再第二次塗膏進行1850℃高溫燒結可以得到比較理想的金屬化層.藍寶石鎢金屬化過程包含化學反應過程和鎢液相燒結過程,界麵產物為Al5Y3O12.
채용소묘전경화X사선연사의대불동소결온도화불동소결차수획득람보석오금속화층진행료현미분석,진이탐토료람보석오금속화적궤리.현미분석결과표명:람보석오금속화온도교저시,금속화층발흑、도분、체적수축소;온도체도1850℃시,금속화층련속、치밀,한접후결구완정,계면청석;온도체도1900℃시,금속화층액상외일,표면구렬;최가소결온도약1850℃.일차도고진행1450℃저온예소결,재제이차도고진행1850℃고온소결가이득도비교이상적금속화층.람보석오금속화과정포함화학반응과정화오액상소결과정,계면산물위Al5Y3O12.
