CAJ | 학술논문

如今的社会在传感、射频、通信方面都在广泛应用着声表面波器件。所以人们在有限的元方法的基础上面，又通过COMSOL这种有限元软件对声表面波器件进行了很全面的仿真。这其中经理了很多的步骤，从建立器件的模型开始，然后按照顺序对无电极压电基片、压电基片表面沉积叉指换能器，叉指换能器表面溅射薄膜、薄膜上负载液体等等很多个种结构都进行了分析加以仿真。研究结果表明最有效的是叉指换能器，它可以用电极效应来产生正、反特征的频率，而且向低频便宜的轨迹也是由这两种频率的叉指电极的敷金比与高度增加造成的。还有一种可以使频率向低频变化的是增加薄膜的相对厚度，通过对器件频率变化的观察，还有就是薄膜的厚度的优化程度则是取决于液体密度的灵敏程度，由此可以得出结论，器件负载液体主要就是用于液体密度检测时可以用到，同时也可以提供声表面波器件的设计制作的依据。
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