科技创新导报
科技創新導報
과기창신도보
Science and Technology Innovation Herald
2015年
23期
20-21
,共2页
王笑天%傅刚%刘志宇%高升谦
王笑天%傅剛%劉誌宇%高升謙
왕소천%부강%류지우%고승겸
气敏元件%二氧化锡%双层厚膜%甲苯
氣敏元件%二氧化錫%雙層厚膜%甲苯
기민원건%이양화석%쌍층후막%갑분
采用溶胶-凝胶方法制备了掺Sb和Pt的SnO2以及WO3纳米级气敏材料,通过厚膜印刷技术制备了SnO2气敏元件和WO3-SnO2双层结构的气敏元件。测量了元件对低浓度甲苯以及乙醇、丙酮气体的气敏性能。测量结果表明,SnO2单层元件对乙醇气体敏感,乙醇气体浓度为100×10-6时元件的灵敏度为45;而WO3-SnO2双层结构对低浓度甲苯气体敏感,甲苯气体浓度为150×10-6时元件的灵敏度为16,大于该元件对乙醇气体的灵敏度。
採用溶膠-凝膠方法製備瞭摻Sb和Pt的SnO2以及WO3納米級氣敏材料,通過厚膜印刷技術製備瞭SnO2氣敏元件和WO3-SnO2雙層結構的氣敏元件。測量瞭元件對低濃度甲苯以及乙醇、丙酮氣體的氣敏性能。測量結果錶明,SnO2單層元件對乙醇氣體敏感,乙醇氣體濃度為100×10-6時元件的靈敏度為45;而WO3-SnO2雙層結構對低濃度甲苯氣體敏感,甲苯氣體濃度為150×10-6時元件的靈敏度為16,大于該元件對乙醇氣體的靈敏度。
채용용효-응효방법제비료참Sb화Pt적SnO2이급WO3납미급기민재료,통과후막인쇄기술제비료SnO2기민원건화WO3-SnO2쌍층결구적기민원건。측량료원건대저농도갑분이급을순、병동기체적기민성능。측량결과표명,SnO2단층원건대을순기체민감,을순기체농도위100×10-6시원건적령민도위45;이WO3-SnO2쌍층결구대저농도갑분기체민감,갑분기체농도위150×10-6시원건적령민도위16,대우해원건대을순기체적령민도。