国防科技
國防科技
국방과기
National Defense Science & Technology
2015年
4期
15-19
,共5页
极端环境%高温%压力传感
極耑環境%高溫%壓力傳感
겁단배경%고온%압력전감
极端环境下压力传感器在喷气发动机、火箭、导弹、卫星等国防军工领域有着广阔的应用前景.首先对国内外可应用于极端环境压力传感器的关键技术:SOI制造技术、溅射薄膜技术、金刚石薄膜技术、声表面波无线无源传感技术、SiC高温压力传感技术及其应用情况做回顾论述,并针对各自的主要优缺点进行对比分析和讨论,最后展望了极端环境压力传感器的发展趋势.
極耑環境下壓力傳感器在噴氣髮動機、火箭、導彈、衛星等國防軍工領域有著廣闊的應用前景.首先對國內外可應用于極耑環境壓力傳感器的關鍵技術:SOI製造技術、濺射薄膜技術、金剛石薄膜技術、聲錶麵波無線無源傳感技術、SiC高溫壓力傳感技術及其應用情況做迴顧論述,併針對各自的主要優缺點進行對比分析和討論,最後展望瞭極耑環境壓力傳感器的髮展趨勢.
겁단배경하압력전감기재분기발동궤、화전、도탄、위성등국방군공영역유착엄활적응용전경.수선대국내외가응용우겁단배경압력전감기적관건기술:SOI제조기술、천사박막기술、금강석박막기술、성표면파무선무원전감기술、SiC고온압력전감기술급기응용정황주회고논술,병침대각자적주요우결점진행대비분석화토론,최후전망료겁단배경압력전감기적발전추세.
