沈阳师范大学学报（自然科学版）
瀋暘師範大學學報（自然科學版）
침양사범대학학보（자연과학판）
Journal of Shenyang Normal University (Natural Science Edition)
2015年
3期
329-332
,共4页
张东%鞠振河%王晓文%赵琰%宋世巍%李昱材%王刚%丁艳波%王晗%王健%高微
張東%鞠振河%王曉文%趙琰%宋世巍%李昱材%王剛%丁豔波%王晗%王健%高微
장동%국진하%왕효문%조염%송세외%리욱재%왕강%정염파%왕함%왕건%고미
太阳能电池片%ZnO/Al薄膜电极%磁控溅射
太暘能電池片%ZnO/Al薄膜電極%磁控濺射
태양능전지편%ZnO/Al박막전겁%자공천사
solar cells%ZnO/Al thin film electrode%magnetron sputtering
太阳能电池片上生长ZnO/Al薄膜电极的研究属于新型透明导电材料领域，具体涉及一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法。以未引入电极的太阳能电池片为基片，清洗后送入磁控溅射反应室，以纯 Al 为靶材进行磁控溅射得到20~300 nm 厚的 Al 薄膜，然后将基片置于气相沉积室内同时通入氧气和携带有 Zn(CH2 CH3)2的氩气，沉积得到50~600 nm厚的ZnO 薄膜，最后在氧气气氛下，于400~600℃对载有 ZnO 和 Al 薄膜的基片退火处理，得到ZnO/Al薄膜。制备工艺简单，沉积过程易于控制，透明导电薄膜的均匀性好，光电性能优异，以此作为太阳能电池的背电极，替代传统的铝金属电极，进一步提高了太阳能电池的转化效率。
太暘能電池片上生長ZnO/Al薄膜電極的研究屬于新型透明導電材料領域，具體涉及一種在未引入電極的太暘能電池片上製備ZnO/Al薄膜的方法。以未引入電極的太暘能電池片為基片，清洗後送入磁控濺射反應室，以純 Al 為靶材進行磁控濺射得到20~300 nm 厚的 Al 薄膜，然後將基片置于氣相沉積室內同時通入氧氣和攜帶有 Zn(CH2 CH3)2的氬氣，沉積得到50~600 nm厚的ZnO 薄膜，最後在氧氣氣氛下，于400~600℃對載有 ZnO 和 Al 薄膜的基片退火處理，得到ZnO/Al薄膜。製備工藝簡單，沉積過程易于控製，透明導電薄膜的均勻性好，光電性能優異，以此作為太暘能電池的揹電極，替代傳統的鋁金屬電極，進一步提高瞭太暘能電池的轉化效率。
태양능전지편상생장ZnO/Al박막전겁적연구속우신형투명도전재료영역，구체섭급일충재미인입전겁적태양능전지편상제비ZnO/Al박막적방법。이미인입전겁적태양능전지편위기편，청세후송입자공천사반응실，이순 Al 위파재진행자공천사득도20~300 nm 후적 Al 박막，연후장기편치우기상침적실내동시통입양기화휴대유 Zn(CH2 CH3)2적아기，침적득도50~600 nm후적ZnO 박막，최후재양기기분하，우400~600℃대재유 ZnO 화 Al 박막적기편퇴화처리，득도ZnO/Al박막。제비공예간단，침적과정역우공제，투명도전박막적균균성호，광전성능우이，이차작위태양능전지적배전겁，체대전통적려금속전겁，진일보제고료태양능전지적전화효솔。
The study is concerned with new type of transparent conductive materials in the field,particularly relates to a method for preparing the introduction of electrodes on a non-film solar cells ZnO/Al films.This method is based on research papers not introduced electrode film solar cells as a substrate,magnetron sputtering after cleaning into the reaction chamber to be pure Al as a target magnetron sputtering get 20~300 nm thick Al film,and then the substrate is placed into the vapor deposition chamber while passing an oxygen carrying and Zn(CH2 CH3 )2 ,argon,is deposited to give a thickness of 50~600 nm ZnO film,and finally in an oxygen atmosphere at 400~600 ℃ for containing ZnO and Al annealing the substrate film to obtain a ZnO/Al film.Preparation of this research paper is simple,easy to control the deposition process,the transparent conductive film uniformity and excellent optical performance,as the back electrode of the solar cell,which can replace the traditional aluminum metal electrode,and further improve the conversion efficiency of solar cells.
