电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
Journal of Electronic Measurement and Instrumentation
2015年
7期
978-987
,共10页
许高斌%李新%陈兴%马渊明
許高斌%李新%陳興%馬淵明
허고빈%리신%진흥%마연명
三轴微加速度计%接口ASIC%时分复用%相关双倍采样%Sigma_Delta
三軸微加速度計%接口ASIC%時分複用%相關雙倍採樣%Sigma_Delta
삼축미가속도계%접구ASIC%시분복용%상관쌍배채양%Sigma_Delta
3-axis micro-accelerometer%interface ASIC%discrete-time multiplexed%correlated double sampling%Sigma_Delta
基于CSMC0.5um CMOS工艺,给出了一款3轴电容式微加速度计接口ASIC的详细设计方案.利用时分复用技术实现了使用同一电路模块同时检测3个轴向的加速度信号,利用相关双倍采样技术提高了电容电压转换的分辨率,利用Sigma_Delta调制技术对电路噪声进行有效整形.仿真得到系统的分辨率为0.91 aF/Hz1/2,3个轴向的噪声密度分别为43.60μg/Hz1/2、43.60 μg/Hz1/2和45.70 μg/Hz1/2,3个轴向输出数字脉冲信号占空比的非线性度分别为1.38％、0.91％和1.79％.
基于CSMC0.5um CMOS工藝,給齣瞭一款3軸電容式微加速度計接口ASIC的詳細設計方案.利用時分複用技術實現瞭使用同一電路模塊同時檢測3箇軸嚮的加速度信號,利用相關雙倍採樣技術提高瞭電容電壓轉換的分辨率,利用Sigma_Delta調製技術對電路譟聲進行有效整形.倣真得到繫統的分辨率為0.91 aF/Hz1/2,3箇軸嚮的譟聲密度分彆為43.60μg/Hz1/2、43.60 μg/Hz1/2和45.70 μg/Hz1/2,3箇軸嚮輸齣數字脈遲信號佔空比的非線性度分彆為1.38％、0.91％和1.79％.
기우CSMC0.5um CMOS공예,급출료일관3축전용식미가속도계접구ASIC적상세설계방안.이용시분복용기술실현료사용동일전로모괴동시검측3개축향적가속도신호,이용상관쌍배채양기술제고료전용전압전환적분변솔,이용Sigma_Delta조제기술대전로조성진행유효정형.방진득도계통적분변솔위0.91 aF/Hz1/2,3개축향적조성밀도분별위43.60μg/Hz1/2、43.60 μg/Hz1/2화45.70 μg/Hz1/2,3개축향수출수자맥충신호점공비적비선성도분별위1.38％、0.91％화1.79％.
