江南大学学报（自然科学版）
江南大學學報（自然科學版）
강남대학학보（자연과학판）
Journal of Jiangnan University(Natural Science Edition)
2015年
4期
424-427
,共4页
刘棋奇%倪屹%刘银法%万海松
劉棋奇%倪屹%劉銀法%萬海鬆
류기기%예흘%류은법%만해송
晶体生长%电子负载%温度控制
晶體生長%電子負載%溫度控製
정체생장%전자부재%온도공제
crystal growth%electronic load%temperature control
针对人工晶体生长温度控制系统,提出一种基于直流可编程电子负载控制加热功率的方法控制温度,补充现有温度控制方法在晶体生长低温段(0 ～ 800℃)的缺陷.根据多次应用在蓝宝石晶体生长实验的结果,系统在实验中控制的升温段和降温段(室温至1 900℃)温度与功率曲线均稳定,与红外控温方式在晶体生长工艺中形成良好的互补.该方法具有良好的便捷性、稳定性和较低廉的成本.
針對人工晶體生長溫度控製繫統,提齣一種基于直流可編程電子負載控製加熱功率的方法控製溫度,補充現有溫度控製方法在晶體生長低溫段(0 ～ 800℃)的缺陷.根據多次應用在藍寶石晶體生長實驗的結果,繫統在實驗中控製的升溫段和降溫段(室溫至1 900℃)溫度與功率麯線均穩定,與紅外控溫方式在晶體生長工藝中形成良好的互補.該方法具有良好的便捷性、穩定性和較低廉的成本.
침대인공정체생장온도공제계통,제출일충기우직류가편정전자부재공제가열공솔적방법공제온도,보충현유온도공제방법재정체생장저온단(0 ～ 800℃)적결함.근거다차응용재람보석정체생장실험적결과,계통재실험중공제적승온단화강온단(실온지1 900℃)온도여공솔곡선균은정,여홍외공온방식재정체생장공예중형성량호적호보.해방법구유량호적편첩성、은정성화교저렴적성본.
