光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
8期
2243-2249
,共7页
谢晋%冯彦科%程剑%吴可可
謝晉%馮彥科%程劍%吳可可
사진%풍언과%정검%오가가
光纤石英玻璃%光纤阵列%微V槽%微磨削%金刚石砂轮%微尖端%耦合损耗
光纖石英玻璃%光纖陣列%微V槽%微磨削%金剛石砂輪%微尖耑%耦閤損耗
광섬석영파리%광섬진렬%미V조%미마삭%금강석사륜%미첨단%우합손모
optical fiber quartz glass%optical fiber array%micro V-groove%micro-grinding%diamond wheel%micro-tip%coupling loss
针对脆性石英玻璃的微加工,利用自主研发的金刚石砂轮微尖端修整工艺,研发了光纤阵列石英玻璃微V槽磨削技术.分析了60°的微V槽形状偏差对光纤耦合损耗的影响,然后,研究了砂轮微尖端的误差补偿修整工艺.最后,实验分析了微V槽的磨削精度.理论分析显示:微V槽角度、间距和宽度的偏差分别控制在±0.42°、±1.04 μm和±1.2μm以内时,耦合损耗小于0.5 dB.实验结果表明:开发的数控磨削工艺可加工高精度的60°微V槽阵列;采用数控轨迹和角度补偿修整后,砂轮微尖端半径可平均达到10.46 μm,角度精度为(60±0.22)°;对石英玻璃进行微磨削后,微V槽的角度偏差达到0.4°,尖端半径为10.5 μm,宽度偏差为0.3 μm,间距偏差为0.5 μm,可保证光纤阵列的精密对接.
針對脆性石英玻璃的微加工,利用自主研髮的金剛石砂輪微尖耑脩整工藝,研髮瞭光纖陣列石英玻璃微V槽磨削技術.分析瞭60°的微V槽形狀偏差對光纖耦閤損耗的影響,然後,研究瞭砂輪微尖耑的誤差補償脩整工藝.最後,實驗分析瞭微V槽的磨削精度.理論分析顯示:微V槽角度、間距和寬度的偏差分彆控製在±0.42°、±1.04 μm和±1.2μm以內時,耦閤損耗小于0.5 dB.實驗結果錶明:開髮的數控磨削工藝可加工高精度的60°微V槽陣列;採用數控軌跡和角度補償脩整後,砂輪微尖耑半徑可平均達到10.46 μm,角度精度為(60±0.22)°;對石英玻璃進行微磨削後,微V槽的角度偏差達到0.4°,尖耑半徑為10.5 μm,寬度偏差為0.3 μm,間距偏差為0.5 μm,可保證光纖陣列的精密對接.
침대취성석영파리적미가공,이용자주연발적금강석사륜미첨단수정공예,연발료광섬진렬석영파리미V조마삭기술.분석료60°적미V조형상편차대광섬우합손모적영향,연후,연구료사륜미첨단적오차보상수정공예.최후,실험분석료미V조적마삭정도.이론분석현시:미V조각도、간거화관도적편차분별공제재±0.42°、±1.04 μm화±1.2μm이내시,우합손모소우0.5 dB.실험결과표명:개발적수공마삭공예가가공고정도적60°미V조진렬;채용수공궤적화각도보상수정후,사륜미첨단반경가평균체도10.46 μm,각도정도위(60±0.22)°;대석영파리진행미마삭후,미V조적각도편차체도0.4°,첨단반경위10.5 μm,관도편차위0.3 μm,간거편차위0.5 μm,가보증광섬진렬적정밀대접.
