光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
8期
2229-2235
,共7页
碳化硅陶瓷%超声振动辅助磨削%磨削力比%表面损伤%亚表面裂纹
碳化硅陶瓷%超聲振動輔助磨削%磨削力比%錶麵損傷%亞錶麵裂紋
탄화규도자%초성진동보조마삭%마삭력비%표면손상%아표면렬문
silicon carbide ceramics%ultrasonic assisted grinding%grinding force ratio%surface damage%sub-surface crack
采用普通磨削方式和超声振动辅助磨削方式对无压烧结SiC材料进行了磨削工艺实验,对不同磨削方式下磨削参数对磨削力比、表面损伤及亚表面损伤的影响进行了对比研究,并分析了超声振动磨削作用机制.实验结果显示,该实验中SiC材料去除主要以脆性去除为主,砂轮磨削力比随着磨削深度和进给速度的增加缓慢增加,随着主轴转速的增加略有减小;普通磨削时SiC工件亚表面损伤深度随着磨削深度、进给速度增加逐渐增加,而超声振动辅助磨削变化较小.与普通磨削相比,在相同的磨削参数下,超声振动辅助磨削的高频冲击使材料破碎断裂情况得到改善,且磨削力比减小近1/3,表面裂纹、SiC晶粒脱落、剥落等表面损伤较少,表面损伤层较浅,亚表面裂纹数量及深度都有较大程度降低,可以获得较为理想的表面质量.
採用普通磨削方式和超聲振動輔助磨削方式對無壓燒結SiC材料進行瞭磨削工藝實驗,對不同磨削方式下磨削參數對磨削力比、錶麵損傷及亞錶麵損傷的影響進行瞭對比研究,併分析瞭超聲振動磨削作用機製.實驗結果顯示,該實驗中SiC材料去除主要以脆性去除為主,砂輪磨削力比隨著磨削深度和進給速度的增加緩慢增加,隨著主軸轉速的增加略有減小;普通磨削時SiC工件亞錶麵損傷深度隨著磨削深度、進給速度增加逐漸增加,而超聲振動輔助磨削變化較小.與普通磨削相比,在相同的磨削參數下,超聲振動輔助磨削的高頻遲擊使材料破碎斷裂情況得到改善,且磨削力比減小近1/3,錶麵裂紋、SiC晶粒脫落、剝落等錶麵損傷較少,錶麵損傷層較淺,亞錶麵裂紋數量及深度都有較大程度降低,可以穫得較為理想的錶麵質量.
채용보통마삭방식화초성진동보조마삭방식대무압소결SiC재료진행료마삭공예실험,대불동마삭방식하마삭삼수대마삭력비、표면손상급아표면손상적영향진행료대비연구,병분석료초성진동마삭작용궤제.실험결과현시,해실험중SiC재료거제주요이취성거제위주,사륜마삭력비수착마삭심도화진급속도적증가완만증가,수착주축전속적증가략유감소;보통마삭시SiC공건아표면손상심도수착마삭심도、진급속도증가축점증가,이초성진동보조마삭변화교소.여보통마삭상비,재상동적마삭삼수하,초성진동보조마삭적고빈충격사재료파쇄단렬정황득도개선,차마삭력비감소근1/3,표면렬문、SiC정립탈락、박락등표면손상교소,표면손상층교천,아표면렬문수량급심도도유교대정도강저,가이획득교위이상적표면질량.
