光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
8期
2220-2228
,共9页
王飞%张健%彭利荣%王高文%隋永新
王飛%張健%彭利榮%王高文%隋永新
왕비%장건%팽리영%왕고문%수영신
光学加工%气囊抛光%运动精度%球面抛光%平面抛光
光學加工%氣囊拋光%運動精度%毬麵拋光%平麵拋光
광학가공%기낭포광%운동정도%구면포광%평면포광
optical manufacture%bonnet polishing%motion precision%sphere polishing%flat polishing
针对用于球面、非球面光学元件超精密光学加工的气囊抛光技术,提出了一套控制抛光过程中气囊运动精度的方法.该方法通过控制加工单元的温度,保证抛光过程中设备运动精度达到50μm;使用坐标传递法,使检测数据二维方向对准不确定度达到0.30～0.70 mm.另外,基于磨头去除量估计与反馈修正法,提高精抛过程面形误差收敛效率.最后,通过磨头探测校准法,将磨头与加工工件法向位置精度提高至10μm.实际抛光实验显示:使用运动精度控制法在280 mm口径的平面精密抛光中获得的面形加工精度为0.8 nm(RMS),在160 mm口径的凹球面精密抛光中获得的面形加工结果为1.1 nm(RMS),实现了超高精度面形修正的目的,为超高精度球面、非球面光学元件加工提供了一套行之有效的方法.该方法同样适用于其他接触式小磨头数控抛光方法.
針對用于毬麵、非毬麵光學元件超精密光學加工的氣囊拋光技術,提齣瞭一套控製拋光過程中氣囊運動精度的方法.該方法通過控製加工單元的溫度,保證拋光過程中設備運動精度達到50μm;使用坐標傳遞法,使檢測數據二維方嚮對準不確定度達到0.30～0.70 mm.另外,基于磨頭去除量估計與反饋脩正法,提高精拋過程麵形誤差收斂效率.最後,通過磨頭探測校準法,將磨頭與加工工件法嚮位置精度提高至10μm.實際拋光實驗顯示:使用運動精度控製法在280 mm口徑的平麵精密拋光中穫得的麵形加工精度為0.8 nm(RMS),在160 mm口徑的凹毬麵精密拋光中穫得的麵形加工結果為1.1 nm(RMS),實現瞭超高精度麵形脩正的目的,為超高精度毬麵、非毬麵光學元件加工提供瞭一套行之有效的方法.該方法同樣適用于其他接觸式小磨頭數控拋光方法.
침대용우구면、비구면광학원건초정밀광학가공적기낭포광기술,제출료일투공제포광과정중기낭운동정도적방법.해방법통과공제가공단원적온도,보증포광과정중설비운동정도체도50μm;사용좌표전체법,사검측수거이유방향대준불학정도체도0.30～0.70 mm.령외,기우마두거제량고계여반궤수정법,제고정포과정면형오차수렴효솔.최후,통과마두탐측교준법,장마두여가공공건법향위치정도제고지10μm.실제포광실험현시:사용운동정도공제법재280 mm구경적평면정밀포광중획득적면형가공정도위0.8 nm(RMS),재160 mm구경적요구면정밀포광중획득적면형가공결과위1.1 nm(RMS),실현료초고정도면형수정적목적,위초고정도구면、비구면광학원건가공제공료일투행지유효적방법.해방법동양괄용우기타접촉식소마두수공포광방법.
