光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
8期
2143-2148
,共6页
投影物镜%光刻物镜%波像差%光学设计%自动优化
投影物鏡%光刻物鏡%波像差%光學設計%自動優化
투영물경%광각물경%파상차%광학설계%자동우화
projective lens%lithographic lens%wavefront aberration%optical design%automatic optimization
考虑高数值孔径(NA)投影光刻物镜视场较大、波像差分布不均匀,本文提出了一种自动优化设计方法来降低设计过程中出现的全视场最大波像差.该方法通过将一个自动调节采样视场权重的循环程序附加在光刻物镜的局部优化程序之外来自动平衡全视场的波像差,进而降低全视场的最大波像差.设计实例证明,运用该方法后光刻物镜全视场波像差的均匀性显著提高,最大波像差降低为原来的63％.该方法在光学设计软件Code V中有良好的应用效果,应用该方法不但能节省光刻物镜设计者的时间,而且会降低设计对设计者设计经验的依赖性.同时,该方法也可推广应用在其他对成像质量要求较高的光学系统设计中.
攷慮高數值孔徑(NA)投影光刻物鏡視場較大、波像差分佈不均勻,本文提齣瞭一種自動優化設計方法來降低設計過程中齣現的全視場最大波像差.該方法通過將一箇自動調節採樣視場權重的循環程序附加在光刻物鏡的跼部優化程序之外來自動平衡全視場的波像差,進而降低全視場的最大波像差.設計實例證明,運用該方法後光刻物鏡全視場波像差的均勻性顯著提高,最大波像差降低為原來的63％.該方法在光學設計軟件Code V中有良好的應用效果,應用該方法不但能節省光刻物鏡設計者的時間,而且會降低設計對設計者設計經驗的依賴性.同時,該方法也可推廣應用在其他對成像質量要求較高的光學繫統設計中.
고필고수치공경(NA)투영광각물경시장교대、파상차분포불균균,본문제출료일충자동우화설계방법래강저설계과정중출현적전시장최대파상차.해방법통과장일개자동조절채양시장권중적순배정서부가재광각물경적국부우화정서지외래자동평형전시장적파상차,진이강저전시장적최대파상차.설계실예증명,운용해방법후광각물경전시장파상차적균균성현저제고,최대파상차강저위원래적63％.해방법재광학설계연건Code V중유량호적응용효과,응용해방법불단능절성광각물경설계자적시간,이차회강저설계대설계자설계경험적의뢰성.동시,해방법야가추엄응용재기타대성상질량요구교고적광학계통설계중.
