理化检验-物理分册
理化檢驗-物理分冊
이화검험-물리분책
Physical Testing and Chemical Analysis Part A:Physical Testing
2015年
9期
619-622,625
,共5页
划痕法%显微法%TiN薄膜/基体结合力%硬度
劃痕法%顯微法%TiN薄膜/基體結閤力%硬度
화흔법%현미법%TiN박막/기체결합력%경도
scratching method%microscopic method%TiN film-substrate adhesion strength%hardness
采用反应磁控溅射的方法在TC4钛合金基板上制备了TiN薄膜,利用划痕法测试了TiN薄膜与基体之间的结合力,并结合薄膜硬度与显微法判断的临界载荷进行了对比分析.结果表明:单纯依靠划痕法判断临界载荷较为局限,结合显微法同时考虑硬度等力学性能共同判断临界载荷,是更为科学合理的办法.
採用反應磁控濺射的方法在TC4鈦閤金基闆上製備瞭TiN薄膜,利用劃痕法測試瞭TiN薄膜與基體之間的結閤力,併結閤薄膜硬度與顯微法判斷的臨界載荷進行瞭對比分析.結果錶明:單純依靠劃痕法判斷臨界載荷較為跼限,結閤顯微法同時攷慮硬度等力學性能共同判斷臨界載荷,是更為科學閤理的辦法.
채용반응자공천사적방법재TC4태합금기판상제비료TiN박막,이용화흔법측시료TiN박막여기체지간적결합력,병결합박막경도여현미법판단적림계재하진행료대비분석.결과표명:단순의고화흔법판단림계재하교위국한,결합현미법동시고필경도등역학성능공동판단림계재하,시경위과학합리적판법.
