材料导报
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재료도보
Materials Review
2015年
18期
55-59,64
,共6页
周海月%赵振%郭祥%魏文喆%王一%黄梦雅%罗子江%丁召
週海月%趙振%郭祥%魏文喆%王一%黃夢雅%囉子江%丁召
주해월%조진%곽상%위문철%왕일%황몽아%라자강%정소
STM%In0.53Ga0.47As薄膜%As4BEP%表面重构
STM%In0.53Ga0.47As薄膜%As4BEP%錶麵重構
STM%In0.53Ga0.47As박막%As4BEP%표면중구
scanning tunneling microscopy%In0.53Ga0.47As films%arsenic beam equivalent pressure%surface reconstruction
通过扫描隧道显微镜(STM)以及反射式高能电子衍射(RHEED)对在不同As4等效束流压强(As4BEP)下生长的In0.53 Ga0.47 As薄膜表面重构进行研究.研究发现在两种As4 BEP条件下,样品表面重构都以(4×3)/(n×3)为主,并存在c(6×4)、β2(2×4)以及α2(2×4)三种重构类型.和低As4 BEP条件相比,高As4 BEP条件下反射式高能电子衍射仪图像更加清晰,高分辨率的STM扫描图片也能够分辨出各种重构类型.对高分辨率的STM扫描图像进行进一步分析得到,随着As4 BEP的升高,β2(2×4)重构类型明显减少,这是由于高As4 BEP减少In偏析,从而抑制β2(2×4)重构的产生.
通過掃描隧道顯微鏡(STM)以及反射式高能電子衍射(RHEED)對在不同As4等效束流壓彊(As4BEP)下生長的In0.53 Ga0.47 As薄膜錶麵重構進行研究.研究髮現在兩種As4 BEP條件下,樣品錶麵重構都以(4×3)/(n×3)為主,併存在c(6×4)、β2(2×4)以及α2(2×4)三種重構類型.和低As4 BEP條件相比,高As4 BEP條件下反射式高能電子衍射儀圖像更加清晰,高分辨率的STM掃描圖片也能夠分辨齣各種重構類型.對高分辨率的STM掃描圖像進行進一步分析得到,隨著As4 BEP的升高,β2(2×4)重構類型明顯減少,這是由于高As4 BEP減少In偏析,從而抑製β2(2×4)重構的產生.
통과소묘수도현미경(STM)이급반사식고능전자연사(RHEED)대재불동As4등효속류압강(As4BEP)하생장적In0.53 Ga0.47 As박막표면중구진행연구.연구발현재량충As4 BEP조건하,양품표면중구도이(4×3)/(n×3)위주,병존재c(6×4)、β2(2×4)이급α2(2×4)삼충중구류형.화저As4 BEP조건상비,고As4 BEP조건하반사식고능전자연사의도상경가청석,고분변솔적STM소묘도편야능구분변출각충중구류형.대고분변솔적STM소묘도상진행진일보분석득도,수착As4 BEP적승고,β2(2×4)중구류형명현감소,저시유우고As4 BEP감소In편석,종이억제β2(2×4)중구적산생.
