材料导报
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재료도보
Materials Review
2015年
18期
24-27
,共4页
赵丽丽%翟春雪%朱红丹%廖付友%刘艳秋
趙麗麗%翟春雪%硃紅丹%廖付友%劉豔鞦
조려려%적춘설%주홍단%료부우%류염추
钛酸锶钡%薄膜%预处理%退火%光学性能
鈦痠鍶鋇%薄膜%預處理%退火%光學性能
태산송패%박막%예처리%퇴화%광학성능
barium strontium titanate%thin film%pre-heat treatment%anneal,optical properties
采用无水溶胶-凝胶技术制备了钛酸锶钡光学薄膜,研究了预处理温度对钛酸锶钡薄膜表面形貌的影响,系统分析了退火温度对钛酸锶钡薄膜的相结构、微观形貌和光学性能的影响.结果表明,膜的物相、结构和形貌均对其光学性能起决定作用,制备致密、均匀的晶态薄膜是使钛酸锶钡薄膜具有高的光学透过率、大的折射率和小的消光系数的关键.通过150℃预处理和850℃退火获得了晶化程度良好,表面形貌平整、致密的钛酸锶钡薄膜,该膜在350～1000nm的最大光透过率为80.72％,在600～1000nm的折射率稳定在约1.93,在400～1000nm范围消光系数稳定在约4×10-5.
採用無水溶膠-凝膠技術製備瞭鈦痠鍶鋇光學薄膜,研究瞭預處理溫度對鈦痠鍶鋇薄膜錶麵形貌的影響,繫統分析瞭退火溫度對鈦痠鍶鋇薄膜的相結構、微觀形貌和光學性能的影響.結果錶明,膜的物相、結構和形貌均對其光學性能起決定作用,製備緻密、均勻的晶態薄膜是使鈦痠鍶鋇薄膜具有高的光學透過率、大的摺射率和小的消光繫數的關鍵.通過150℃預處理和850℃退火穫得瞭晶化程度良好,錶麵形貌平整、緻密的鈦痠鍶鋇薄膜,該膜在350～1000nm的最大光透過率為80.72％,在600～1000nm的摺射率穩定在約1.93,在400～1000nm範圍消光繫數穩定在約4×10-5.
채용무수용효-응효기술제비료태산송패광학박막,연구료예처리온도대태산송패박막표면형모적영향,계통분석료퇴화온도대태산송패박막적상결구、미관형모화광학성능적영향.결과표명,막적물상、결구화형모균대기광학성능기결정작용,제비치밀、균균적정태박막시사태산송패박막구유고적광학투과솔、대적절사솔화소적소광계수적관건.통과150℃예처리화850℃퇴화획득료정화정도량호,표면형모평정、치밀적태산송패박막,해막재350～1000nm적최대광투과솔위80.72％,재600～1000nm적절사솔은정재약1.93,재400～1000nm범위소광계수은정재약4×10-5.
