南京航空航天大学学报
南京航空航天大學學報
남경항공항천대학학보
Journal of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics
2015年
4期
474-486
,共13页
微型机电系统%阳极键合%力学行为%键合技术
微型機電繫統%暘極鍵閤%力學行為%鍵閤技術
미형궤전계통%양겁건합%역학행위%건합기술
micro electro-mechanical system%anodic bonding%mechanical behavior%bonding technology
回顾了微纳机电系统(Micro/Nano electro-mechanical system,MEMS/NEMS)器件工业中所用键合技术的发展和应用,总结了作为其中关键键合技术之一的阳极键合在微纳系统中的重要作用及其主要特点,分析了阳极键合的机理以及所涉及的力学问题,如键合力(静电力、表面力等)作用下的表面粘着;电场作用下接触界面处粒子的扩散、反应;键合界面层中的残余应力等.阳极键合界面层的力学行为及特性直接关系到MEMS器件中微机械结构的安全与可靠性.对这些问题的研究,有助于更好地理解阳极键合,为MEMS/NEMS器件的设计、制造加工以及实际应用提供许多有益参考.
迴顧瞭微納機電繫統(Micro/Nano electro-mechanical system,MEMS/NEMS)器件工業中所用鍵閤技術的髮展和應用,總結瞭作為其中關鍵鍵閤技術之一的暘極鍵閤在微納繫統中的重要作用及其主要特點,分析瞭暘極鍵閤的機理以及所涉及的力學問題,如鍵閤力(靜電力、錶麵力等)作用下的錶麵粘著;電場作用下接觸界麵處粒子的擴散、反應;鍵閤界麵層中的殘餘應力等.暘極鍵閤界麵層的力學行為及特性直接關繫到MEMS器件中微機械結構的安全與可靠性.對這些問題的研究,有助于更好地理解暘極鍵閤,為MEMS/NEMS器件的設計、製造加工以及實際應用提供許多有益參攷.
회고료미납궤전계통(Micro/Nano electro-mechanical system,MEMS/NEMS)기건공업중소용건합기술적발전화응용,총결료작위기중관건건합기술지일적양겁건합재미납계통중적중요작용급기주요특점,분석료양겁건합적궤리이급소섭급적역학문제,여건합력(정전력、표면력등)작용하적표면점착;전장작용하접촉계면처입자적확산、반응;건합계면층중적잔여응력등.양겁건합계면층적역학행위급특성직접관계도MEMS기건중미궤계결구적안전여가고성.대저사문제적연구,유조우경호지리해양겁건합,위MEMS/NEMS기건적설계、제조가공이급실제응용제공허다유익삼고.
