应用光学
應用光學
응용광학
Journal of Applied Optics
2015年
5期
799-806
,共8页
苏俊宏%葛锦蔓%徐均琪%吴慎将%陈磊
囌俊宏%葛錦蔓%徐均琪%吳慎將%陳磊
소준굉%갈금만%서균기%오신장%진뢰
薄膜%类金刚石%制备工艺%激光损伤
薄膜%類金剛石%製備工藝%激光損傷
박막%류금강석%제비공예%격광손상
film%diamond-like carbon (DLC)%preparation technology%laser-induced damage
为了使研究者能更详细地了解类金刚石(DLC)薄膜的研究现状,综述了类金刚石薄膜的特性及应用,分析对比了目前常用的一些类金刚石薄膜的制备方法,包括物理气相沉积法(PVD)和化学气相沉积法(CVD),并对类金刚石薄膜的抗强激光损伤特性以及提高其激光损伤阈值的方法进行了论述.结果发现,利用PVD法制备的DLC膜的硬度可以达到40 GPa～80 GPa,且薄膜的残余应力可以达到0.9 GPa～2.2 GPa之间,而CVD法则由于反应气体的充入导致类DLC薄膜的沉积速率大大降低,故使用率不高.同时,优化膜系的电场强度设计,采用合理的制备工艺,进行激光辐照后处理,施加外界电场干预均可有效地提高DLC薄膜的抗激光损伤能力,且目前的DLC薄膜的激光损伤阈值可达到2.4 J/cm2.
為瞭使研究者能更詳細地瞭解類金剛石(DLC)薄膜的研究現狀,綜述瞭類金剛石薄膜的特性及應用,分析對比瞭目前常用的一些類金剛石薄膜的製備方法,包括物理氣相沉積法(PVD)和化學氣相沉積法(CVD),併對類金剛石薄膜的抗彊激光損傷特性以及提高其激光損傷閾值的方法進行瞭論述.結果髮現,利用PVD法製備的DLC膜的硬度可以達到40 GPa～80 GPa,且薄膜的殘餘應力可以達到0.9 GPa～2.2 GPa之間,而CVD法則由于反應氣體的充入導緻類DLC薄膜的沉積速率大大降低,故使用率不高.同時,優化膜繫的電場彊度設計,採用閤理的製備工藝,進行激光輻照後處理,施加外界電場榦預均可有效地提高DLC薄膜的抗激光損傷能力,且目前的DLC薄膜的激光損傷閾值可達到2.4 J/cm2.
위료사연구자능경상세지료해류금강석(DLC)박막적연구현상,종술료류금강석박막적특성급응용,분석대비료목전상용적일사류금강석박막적제비방법,포괄물리기상침적법(PVD)화화학기상침적법(CVD),병대류금강석박막적항강격광손상특성이급제고기격광손상역치적방법진행료논술.결과발현,이용PVD법제비적DLC막적경도가이체도40 GPa～80 GPa,차박막적잔여응력가이체도0.9 GPa～2.2 GPa지간,이CVD법칙유우반응기체적충입도치류DLC박막적침적속솔대대강저,고사용솔불고.동시,우화막계적전장강도설계,채용합리적제비공예,진행격광복조후처리,시가외계전장간예균가유효지제고DLC박막적항격광손상능력,차목전적DLC박막적격광손상역치가체도2.4 J/cm2.
