利用环形子孔径拼接法检测非球面反射镜
이용배형자공경병접법검측비구면반사경
Annular sub-aperture stitching used for aspheric testing
  • 万方数据
    应用光学 응용광학
    Journal of Applied Optics
    2015年 5期 791-794 ,共4页

    李江%杨朋利%李文婷%王芝%安静%冯婕%马爱秋%付晓庆

    리강%양붕리%리문정%왕지%안정%풍첩%마애추%부효경

    环形子孔径%Zygo干涉仪%非球面检测 環形子孔徑%Zygo榦涉儀%非毬麵檢測
    배형자공경%Zygo간섭의%비구면검측
    annular sub-aperture stitching%Zygo interferometer%aspheric testing
    为解决高精度检测非球面反射镜的难题,提出利用Zygo干涉仪完成非球面环形子孔径检测.通过移动待测非球面,使得由干涉仪产生的参考球面波,以不同的曲率半径匹配待测非球面的各个环带区域,分别测试每个环带,进而完成对整个非球面的拼接检测.以双曲面反射镜为例进行拼接检测,并搭建辅助光路,利用无像差点法对拼接结果进行验证.验证结果表明:该方法测量误差小于1/20(λ=632.8 nm).
    위해결고정도검측비구면반사경적난제,제출이용Zygo간섭의완성비구면배형자공경검측.통과이동대측비구면,사득유간섭의산생적삼고구면파,이불동적곡솔반경필배대측비구면적각개배대구역,분별측시매개배대,진이완성대정개비구면적병접검측.이쌍곡면반사경위례진행병접검측,병탑건보조광로,이용무상차점법대병접결과진행험증.험증결과표명:해방법측량오차소우1/20(λ=632.8 nm).
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