应用光学
應用光學
응용광학
Journal of Applied Optics
2015年
5期
698-703
,共6页
光学检测%大口径平面镜%瑞奇-康芒%面形误差%Zernike
光學檢測%大口徑平麵鏡%瑞奇-康芒%麵形誤差%Zernike
광학검측%대구경평면경%서기-강망%면형오차%Zernike
optical test%large flat mirror%Ritchey-Common%surface figure error%Zernike
为使瑞奇-康芒法检测结果更为真实地反映出被检平面镜的面形情况,对瑞奇-康芒检测数据处理方法进行研究.针对现有的数据模型,提出利用坐标转换关系法计算平面镜的面形误差.利用仿真验证坐标转换法的有效性并分析此方法的理论计算精度.通过对比实验结果与干涉仪直接检测结果可知,坐标转换法的实际PV检测精度优于1/20λ,RMS检测精度优于1/100λ,达到高精度检测要求.相比影响矩阵法结果,PV精度提高了0.013λ,RMS精度提高了0.003 7λ,证明坐标转换法更适用于瑞奇-康芒法数据处理分析.
為使瑞奇-康芒法檢測結果更為真實地反映齣被檢平麵鏡的麵形情況,對瑞奇-康芒檢測數據處理方法進行研究.針對現有的數據模型,提齣利用坐標轉換關繫法計算平麵鏡的麵形誤差.利用倣真驗證坐標轉換法的有效性併分析此方法的理論計算精度.通過對比實驗結果與榦涉儀直接檢測結果可知,坐標轉換法的實際PV檢測精度優于1/20λ,RMS檢測精度優于1/100λ,達到高精度檢測要求.相比影響矩陣法結果,PV精度提高瞭0.013λ,RMS精度提高瞭0.003 7λ,證明坐標轉換法更適用于瑞奇-康芒法數據處理分析.
위사서기-강망법검측결과경위진실지반영출피검평면경적면형정황,대서기-강망검측수거처리방법진행연구.침대현유적수거모형,제출이용좌표전환관계법계산평면경적면형오차.이용방진험증좌표전환법적유효성병분석차방법적이론계산정도.통과대비실험결과여간섭의직접검측결과가지,좌표전환법적실제PV검측정도우우1/20λ,RMS검측정도우우1/100λ,체도고정도검측요구.상비영향구진법결과,PV정도제고료0.013λ,RMS정도제고료0.003 7λ,증명좌표전환법경괄용우서기-강망법수거처리분석.
