电子技术应用
電子技術應用
전자기술응용
Application of Electronic Technique
2015年
9期
21-24,32
,共5页
曹合适%粟雅娟%张斌珍%段俊萍
曹閤適%粟雅娟%張斌珍%段俊萍
조합괄%속아연%장빈진%단준평
微纳机电开关%零泄漏%射频器件%逻辑电路%粘附力
微納機電開關%零洩漏%射頻器件%邏輯電路%粘附力
미납궤전개관%령설루%사빈기건%라집전로%점부력
nano-electro-mechanical systems%electrostatic force%electrostatic switch%zero leakage%adhesion
微纳机电开关是指特征尺寸在微米或纳米量级内的机械开关,是一个新兴的技术领域,具有体积小、速度快、零泄漏等优势,成为近年来的研究热点.首先介绍了微纳机电开关在射频器件和逻辑电路中的应用,并概述了其分类方式及各自特点.同时系统综述了微纳机电开关的研究现状,包括在尺寸、阈值电压、稳定性、材料等方面取得的突破.最后,论述了微纳机电开关的发展趋势,阐述了其面临的问题和发展障碍,如微纳尺寸下的表面粘附效应、现有工艺技术的实现等.
微納機電開關是指特徵呎吋在微米或納米量級內的機械開關,是一箇新興的技術領域,具有體積小、速度快、零洩漏等優勢,成為近年來的研究熱點.首先介紹瞭微納機電開關在射頻器件和邏輯電路中的應用,併概述瞭其分類方式及各自特點.同時繫統綜述瞭微納機電開關的研究現狀,包括在呎吋、閾值電壓、穩定性、材料等方麵取得的突破.最後,論述瞭微納機電開關的髮展趨勢,闡述瞭其麵臨的問題和髮展障礙,如微納呎吋下的錶麵粘附效應、現有工藝技術的實現等.
미납궤전개관시지특정척촌재미미혹납미량급내적궤계개관,시일개신흥적기술영역,구유체적소、속도쾌、령설루등우세,성위근년래적연구열점.수선개소료미납궤전개관재사빈기건화라집전로중적응용,병개술료기분류방식급각자특점.동시계통종술료미납궤전개관적연구현상,포괄재척촌、역치전압、은정성、재료등방면취득적돌파.최후,논술료미납궤전개관적발전추세,천술료기면림적문제화발전장애,여미납척촌하적표면점부효응、현유공예기술적실현등.
