制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
Manufacturing Technology & Machine Tool
2015年
9期
118-123
,共6页
孙郅佶%安晨辉%杨旭%张清华%王健%毕果
孫郅佶%安晨輝%楊旭%張清華%王健%畢果
손질길%안신휘%양욱%장청화%왕건%필과
超精密机床主轴%在线测试%回转误差%异步误差
超精密機床主軸%在線測試%迴轉誤差%異步誤差
초정밀궤상주축%재선측시%회전오차%이보오차
ultra precision spindle%on-line measurement%rotating error%asynchronous error
为了实现对超精密机床主轴回转误差的在线测试与评价,建立了纳米级在线测试与评价系统.对该系统所采用的测试仪器、干扰抑制、数据处理与指标评价方法进行研究.首先,在某台超精密切削机床上搭建了由5个电容传感器组成的5通道测试模块.接着,以多通道高速数据采集模块实现多通道位移数据模拟量的高速采集.然后,对采集的信号进行必要的干扰信号分离.最后,将5通道位移数据转换为易于理解的轴向误差和径向误差数据,并按照同步误差和异步误差进行分离.测试结果表明:该机床主轴工作转速下的径向同步误差为405 nm,径向异步误差为66 nm;轴向同步误差为59 nm,轴向异步误差为54 nm.能够实现超精密机床主轴回转误差的纳米级在线测试,对于超精密光学加工表面的误差溯源和机床主轴性能分析具有重要意义.
為瞭實現對超精密機床主軸迴轉誤差的在線測試與評價,建立瞭納米級在線測試與評價繫統.對該繫統所採用的測試儀器、榦擾抑製、數據處理與指標評價方法進行研究.首先,在某檯超精密切削機床上搭建瞭由5箇電容傳感器組成的5通道測試模塊.接著,以多通道高速數據採集模塊實現多通道位移數據模擬量的高速採集.然後,對採集的信號進行必要的榦擾信號分離.最後,將5通道位移數據轉換為易于理解的軸嚮誤差和徑嚮誤差數據,併按照同步誤差和異步誤差進行分離.測試結果錶明:該機床主軸工作轉速下的徑嚮同步誤差為405 nm,徑嚮異步誤差為66 nm;軸嚮同步誤差為59 nm,軸嚮異步誤差為54 nm.能夠實現超精密機床主軸迴轉誤差的納米級在線測試,對于超精密光學加工錶麵的誤差溯源和機床主軸性能分析具有重要意義.
위료실현대초정밀궤상주축회전오차적재선측시여평개,건립료납미급재선측시여평개계통.대해계통소채용적측시의기、간우억제、수거처리여지표평개방법진행연구.수선,재모태초정밀절삭궤상상탑건료유5개전용전감기조성적5통도측시모괴.접착,이다통도고속수거채집모괴실현다통도위이수거모의량적고속채집.연후,대채집적신호진행필요적간우신호분리.최후,장5통도위이수거전환위역우리해적축향오차화경향오차수거,병안조동보오차화이보오차진행분리.측시결과표명:해궤상주축공작전속하적경향동보오차위405 nm,경향이보오차위66 nm;축향동보오차위59 nm,축향이보오차위54 nm.능구실현초정밀궤상주축회전오차적납미급재선측시,대우초정밀광학가공표면적오차소원화궤상주축성능분석구유중요의의.
