电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
Equipment for Electronic Products Manufacturing
2015年
7期
23-28
,共6页
立体端面%楔形误差补偿%涂胶%光刻工艺%曝光分辨率
立體耑麵%楔形誤差補償%塗膠%光刻工藝%曝光分辨率
입체단면%설형오차보상%도효%광각공예%폭광분변솔
立体端面的特种器件,要求在其单侧或者双侧表面光刻出有位置要求的图形.针对这一特种器件的要求,研制了一种可适应立体端面基体的对准工作台及楔形误差补偿机构,并根据立体端面的物理特性,在旋转涂胶法的基础上,研制了适应其涂胶工艺的装夹机构,通过工艺实验,验证了该光刻工艺的可行性.
立體耑麵的特種器件,要求在其單側或者雙側錶麵光刻齣有位置要求的圖形.針對這一特種器件的要求,研製瞭一種可適應立體耑麵基體的對準工作檯及楔形誤差補償機構,併根據立體耑麵的物理特性,在鏇轉塗膠法的基礎上,研製瞭適應其塗膠工藝的裝夾機構,通過工藝實驗,驗證瞭該光刻工藝的可行性.
입체단면적특충기건,요구재기단측혹자쌍측표면광각출유위치요구적도형.침대저일특충기건적요구,연제료일충가괄응입체단면기체적대준공작태급설형오차보상궤구,병근거입체단면적물리특성,재선전도효법적기출상,연제료괄응기도효공예적장협궤구,통과공예실험,험증료해광각공예적가행성.
