电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
Equipment for Electronic Products Manufacturing
2015年
7期
11-12,32
,共3页
半导体设备%多晶铸锭%定向凝固%优化工艺
半導體設備%多晶鑄錠%定嚮凝固%優化工藝
반도체설비%다정주정%정향응고%우화공예
多晶硅铸锭生长过程的微晶、位错、隐裂等缺陷严重影响铸锭得料率,通过对多晶硅铸锭过程的研究,分析了控温偶温度、隔热笼提升高度对铸锭工艺的影响.结果表明,对控温偶温度及隔热笼提升高度的优化可以明显消除微晶,改善位错、隐裂等缺陷,显著提高铸锭得料率.
多晶硅鑄錠生長過程的微晶、位錯、隱裂等缺陷嚴重影響鑄錠得料率,通過對多晶硅鑄錠過程的研究,分析瞭控溫偶溫度、隔熱籠提升高度對鑄錠工藝的影響.結果錶明,對控溫偶溫度及隔熱籠提升高度的優化可以明顯消除微晶,改善位錯、隱裂等缺陷,顯著提高鑄錠得料率.
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