机械工程师
機械工程師
궤계공정사
Mechanical Engineer
2015年
8期
128-129
,共2页
扩散炉%方阻%温度%流量计%排风
擴散爐%方阻%溫度%流量計%排風
확산로%방조%온도%류량계%배풍
在光伏电池片的生产过程中,扩散炉体的相关元器件经过频繁多次的使用致设备老化,常常会出现故障,使扩散后,硅片方块电阻异常波动,致生产线的扩散环节出现很多异常问题,导致PN结质量下降.文中对扩散炉体零器件老化、损坏而导致的方阻异常进行分析,并寻找相应的解决措施,不断提高PN结制造工艺的稳定性.
在光伏電池片的生產過程中,擴散爐體的相關元器件經過頻繁多次的使用緻設備老化,常常會齣現故障,使擴散後,硅片方塊電阻異常波動,緻生產線的擴散環節齣現很多異常問題,導緻PN結質量下降.文中對擴散爐體零器件老化、損壞而導緻的方阻異常進行分析,併尋找相應的解決措施,不斷提高PN結製造工藝的穩定性.
재광복전지편적생산과정중,확산로체적상관원기건경과빈번다차적사용치설비노화,상상회출현고장,사확산후,규편방괴전조이상파동,치생산선적확산배절출현흔다이상문제,도치PN결질량하강.문중대확산로체령기건노화、손배이도치적방조이상진행분석,병심조상응적해결조시,불단제고PN결제조공예적은정성.