光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
9期
2586-2594
,共9页
夏毅敏%王洋%胡均平%杨添任%罗松保%张刚强
夏毅敏%王洋%鬍均平%楊添任%囉鬆保%張剛彊
하의민%왕양%호균평%양첨임%라송보%장강강
超精密加工机床%节流器%结构参数%液体静压轴承%压力场分布%承载特性
超精密加工機床%節流器%結構參數%液體靜壓軸承%壓力場分佈%承載特性
초정밀가공궤상%절류기%결구삼수%액체정압축승%압력장분포%승재특성
ultra-precision machine tool%restrictor%structural parameter%hydrostatic bearing%pressure filed distribution%load-bearing characteristics
从实际加工角度出发,研究了节流器结构参数对Nanosys-1000超精密加工机床静压导轨承载特性的影响.利用流体分析软件建立导轨承载油垫的有限元模型并搭建了相关静压导轨实验台,研究了进口油压为1.7 MPa,油膜厚度为36μm时承载油垫的压力场分布特征,并通过对压力场积分得到油膜承载力,求导得到油膜刚度,从而揭示不同结构参数对静压导轨承载特性的影响.研究结果表明:节流器结构参数中节流孔孔径对机床承载特性影响最大,其次为节流孔孔长,出入口倒角对其影响甚微.导轨负载较小时,扩大节流孔孔径与缩短节流孔孔长有助于改善静压导轨承载特性;但在重载条件下,缩小节流孔直径,增加节流孔孔长反而更有利.将仿真数据与实验数据作对比,得到3个承载力测量点数据误差分别为7.9％,6.9％,8.6％.最后根据研究成果,确定了Nanosys-1000机床静压导轨节流孔结构参数.
從實際加工角度齣髮,研究瞭節流器結構參數對Nanosys-1000超精密加工機床靜壓導軌承載特性的影響.利用流體分析軟件建立導軌承載油墊的有限元模型併搭建瞭相關靜壓導軌實驗檯,研究瞭進口油壓為1.7 MPa,油膜厚度為36μm時承載油墊的壓力場分佈特徵,併通過對壓力場積分得到油膜承載力,求導得到油膜剛度,從而揭示不同結構參數對靜壓導軌承載特性的影響.研究結果錶明:節流器結構參數中節流孔孔徑對機床承載特性影響最大,其次為節流孔孔長,齣入口倒角對其影響甚微.導軌負載較小時,擴大節流孔孔徑與縮短節流孔孔長有助于改善靜壓導軌承載特性;但在重載條件下,縮小節流孔直徑,增加節流孔孔長反而更有利.將倣真數據與實驗數據作對比,得到3箇承載力測量點數據誤差分彆為7.9％,6.9％,8.6％.最後根據研究成果,確定瞭Nanosys-1000機床靜壓導軌節流孔結構參數.
종실제가공각도출발,연구료절류기결구삼수대Nanosys-1000초정밀가공궤상정압도궤승재특성적영향.이용류체분석연건건립도궤승재유점적유한원모형병탑건료상관정압도궤실험태,연구료진구유압위1.7 MPa,유막후도위36μm시승재유점적압력장분포특정,병통과대압력장적분득도유막승재력,구도득도유막강도,종이게시불동결구삼수대정압도궤승재특성적영향.연구결과표명:절류기결구삼수중절류공공경대궤상승재특성영향최대,기차위절류공공장,출입구도각대기영향심미.도궤부재교소시,확대절류공공경여축단절류공공장유조우개선정압도궤승재특성;단재중재조건하,축소절류공직경,증가절류공공장반이경유리.장방진수거여실험수거작대비,득도3개승재력측량점수거오차분별위7.9％,6.9％,8.6％.최후근거연구성과,학정료Nanosys-1000궤상정압도궤절류공결구삼수.
