光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
9期
2497-2505
,共9页
殷龙海%王孝坤%李龙响%李丽富%张志宇%郑立功%张学军
慇龍海%王孝坤%李龍響%李麗富%張誌宇%鄭立功%張學軍
은룡해%왕효곤%리룡향%리려부%장지우%정립공%장학군
光学制造%SiC离轴非球面%快速磨削%超声复合磨削%在线检测
光學製造%SiC離軸非毬麵%快速磨削%超聲複閤磨削%在線檢測
광학제조%SiC리축비구면%쾌속마삭%초성복합마삭%재선검측
optical fabrication%SiC off-axis asphere%fast grind%ultrasonic grinding%online testing
研究了空间遥感器用大口径SiC离轴非球面的超声复合磨削加工工艺.分别对磨削原理、金刚石砂轮结合剂选择、机床选取、磨削参数设定等进行了分析,并设计和规划了磨削工艺流程.基于逆向工程原理建立了高精度离轴非球面模型,创立了激光跟踪仪精磨阶段在线测量大口径离轴非球面的工艺.结合工程实践对一口径为700mm×700mm的SiC高次离轴非球面元件进行了逆向工程建模和超声磨削加工试验,并利用激光跟踪仪进行了在线检测.经过3个周期(每个周期4h)的修磨,其面形精度PV值和RMS值分别由45.986 μm和7.949 μm收敛至12.181 μm和2.131 μm;与三坐标测试结果进行对比,其PV值和RMS值的偏差分别为0.892 3 μm和0.312 8 μm.实验显示,提出的磨削工艺实现了大口径SiC离轴非球面的快速精确磨削,其加工精度、效率以及表面质量都有了很大的提高.
研究瞭空間遙感器用大口徑SiC離軸非毬麵的超聲複閤磨削加工工藝.分彆對磨削原理、金剛石砂輪結閤劑選擇、機床選取、磨削參數設定等進行瞭分析,併設計和規劃瞭磨削工藝流程.基于逆嚮工程原理建立瞭高精度離軸非毬麵模型,創立瞭激光跟蹤儀精磨階段在線測量大口徑離軸非毬麵的工藝.結閤工程實踐對一口徑為700mm×700mm的SiC高次離軸非毬麵元件進行瞭逆嚮工程建模和超聲磨削加工試驗,併利用激光跟蹤儀進行瞭在線檢測.經過3箇週期(每箇週期4h)的脩磨,其麵形精度PV值和RMS值分彆由45.986 μm和7.949 μm收斂至12.181 μm和2.131 μm;與三坐標測試結果進行對比,其PV值和RMS值的偏差分彆為0.892 3 μm和0.312 8 μm.實驗顯示,提齣的磨削工藝實現瞭大口徑SiC離軸非毬麵的快速精確磨削,其加工精度、效率以及錶麵質量都有瞭很大的提高.
연구료공간요감기용대구경SiC리축비구면적초성복합마삭가공공예.분별대마삭원리、금강석사륜결합제선택、궤상선취、마삭삼수설정등진행료분석,병설계화규화료마삭공예류정.기우역향공정원리건립료고정도리축비구면모형,창립료격광근종의정마계단재선측량대구경리축비구면적공예.결합공정실천대일구경위700mm×700mm적SiC고차리축비구면원건진행료역향공정건모화초성마삭가공시험,병이용격광근종의진행료재선검측.경과3개주기(매개주기4h)적수마,기면형정도PV치화RMS치분별유45.986 μm화7.949 μm수렴지12.181 μm화2.131 μm;여삼좌표측시결과진행대비,기PV치화RMS치적편차분별위0.892 3 μm화0.312 8 μm.실험현시,제출적마삭공예실현료대구경SiC리축비구면적쾌속정학마삭,기가공정도、효솔이급표면질량도유료흔대적제고.
