工具技术
工具技術
공구기술
Tool Engineering
2015年
9期
77-80
,共4页
跨尺度%宏/微双驱动%机器视觉%纳米定位
跨呎度%宏/微雙驅動%機器視覺%納米定位
과척도%굉/미쌍구동%궤기시각%납미정위
trans-dimensional%macro/micro dual-drive%machine vision%nanometer positioning
为实现大行程、纳米分辨力的定位目标,研制了跨尺度二维工作台系统.采用大行程宏动台和六自由度微动台组合的方式,搭建了宏/微双驱动高精度二维工作台系统.该系统利用机器视觉技术,采用图像处理方法确定系统中各个零件的位置和方向,宏动台高速移动实现粗定位,通过微动台与宏动台的循环配合工作,最终实现二维工作台系统的纳米级定位精度.实验结果表明,200mm×200mm二维工作台的定位精度在0.6μm左右,该工作台系统具备了大行程、定位时间快、智能化等优点.
為實現大行程、納米分辨力的定位目標,研製瞭跨呎度二維工作檯繫統.採用大行程宏動檯和六自由度微動檯組閤的方式,搭建瞭宏/微雙驅動高精度二維工作檯繫統.該繫統利用機器視覺技術,採用圖像處理方法確定繫統中各箇零件的位置和方嚮,宏動檯高速移動實現粗定位,通過微動檯與宏動檯的循環配閤工作,最終實現二維工作檯繫統的納米級定位精度.實驗結果錶明,200mm×200mm二維工作檯的定位精度在0.6μm左右,該工作檯繫統具備瞭大行程、定位時間快、智能化等優點.
위실현대행정、납미분변력적정위목표,연제료과척도이유공작태계통.채용대행정굉동태화륙자유도미동태조합적방식,탑건료굉/미쌍구동고정도이유공작태계통.해계통이용궤기시각기술,채용도상처리방법학정계통중각개령건적위치화방향,굉동태고속이동실현조정위,통과미동태여굉동태적순배배합공작,최종실현이유공작태계통적납미급정위정도.실험결과표명,200mm×200mm이유공작태적정위정도재0.6μm좌우,해공작태계통구비료대행정、정위시간쾌、지능화등우점.
