工具技术
工具技術
공구기술
Tool Engineering
2015年
9期
47-49
,共3页
李洪林%胡恒宁%周彤%杜昊
李洪林%鬍恆寧%週彤%杜昊
리홍림%호항저%주동%두호
类金刚石涂层(DLC)%结合力%拉曼光谱%盐雾腐蚀
類金剛石塗層(DLC)%結閤力%拉曼光譜%鹽霧腐蝕
류금강석도층(DLC)%결합력%랍만광보%염무부식
diamond like carbon coating%adhesion%Raman spectra%salt fog corrosion
类金刚石涂层(DLC)是一种与金刚石涂层性能相似的新型涂层材料.传统的DLC沉积设备或是单一的物理气相沉积设备(PVD)或是单一的物理化学气相沉积设备(PCVD).本文开发的改进型全自动化设备将两种沉积方式融合于一个沉积室内,可以根据需要制备不同种类的含有DLC的多层复合涂层.
類金剛石塗層(DLC)是一種與金剛石塗層性能相似的新型塗層材料.傳統的DLC沉積設備或是單一的物理氣相沉積設備(PVD)或是單一的物理化學氣相沉積設備(PCVD).本文開髮的改進型全自動化設備將兩種沉積方式融閤于一箇沉積室內,可以根據需要製備不同種類的含有DLC的多層複閤塗層.
류금강석도층(DLC)시일충여금강석도층성능상사적신형도층재료.전통적DLC침적설비혹시단일적물리기상침적설비(PVD)혹시단일적물이화학기상침적설비(PCVD).본문개발적개진형전자동화설비장량충침적방식융합우일개침적실내,가이근거수요제비불동충류적함유DLC적다층복합도층.
