高电压技术
高電壓技術
고전압기술
High Voltage Engineering
2015年
9期
2910-2915
,共6页
毛志国%朱强%李森%刘忠伟%陈强
毛誌國%硃彊%李森%劉忠偉%陳彊
모지국%주강%리삼%류충위%진강
射频介质阻挡放电%六边形斑图%亚稳态粒子%Penning电离%空间电荷%表面电荷
射頻介質阻擋放電%六邊形斑圖%亞穩態粒子%Penning電離%空間電荷%錶麵電荷
사빈개질조당방전%륙변형반도%아은태입자%Penning전리%공간전하%표면전하
radio frequency dielectric barrier discharge%hexagon pattern%metastable particle%Penning ionization%space charge%surface charge
为研究放电参数对射频介质阻挡放电的放电模式和斑图特性的影响,通过分析活性粒子在放电中所发挥的作用来探究放电机制的差异,采用一个表面覆盖有石英介质的铜电极和一个自制水电极的放电系统,在大气压氦气/氮气混合气体和氩气/氮气混合气体射频介质阻挡放电中获得了六边形斑图,并研究了电源功率、氮气流量对斑图特性的影响.通过比较两种放电形成的斑图发现:氦气/氮气混合气体中形成六边形斑图所需电源功率更高且具有更强的辉光背景.利用发射光谱诊断技术揭示了放电形成的活性粒子,分析认为亚稳态粒子通过Penning电离或Penning激发在放电中发挥了关键性作用.这不仅有助于深入理解射频介质阻挡放电的物理机制,还对斑图动力学的研究有参考价值.
為研究放電參數對射頻介質阻擋放電的放電模式和斑圖特性的影響,通過分析活性粒子在放電中所髮揮的作用來探究放電機製的差異,採用一箇錶麵覆蓋有石英介質的銅電極和一箇自製水電極的放電繫統,在大氣壓氦氣/氮氣混閤氣體和氬氣/氮氣混閤氣體射頻介質阻擋放電中穫得瞭六邊形斑圖,併研究瞭電源功率、氮氣流量對斑圖特性的影響.通過比較兩種放電形成的斑圖髮現:氦氣/氮氣混閤氣體中形成六邊形斑圖所需電源功率更高且具有更彊的輝光揹景.利用髮射光譜診斷技術揭示瞭放電形成的活性粒子,分析認為亞穩態粒子通過Penning電離或Penning激髮在放電中髮揮瞭關鍵性作用.這不僅有助于深入理解射頻介質阻擋放電的物理機製,還對斑圖動力學的研究有參攷價值.
위연구방전삼수대사빈개질조당방전적방전모식화반도특성적영향,통과분석활성입자재방전중소발휘적작용래탐구방전궤제적차이,채용일개표면복개유석영개질적동전겁화일개자제수전겁적방전계통,재대기압양기/담기혼합기체화아기/담기혼합기체사빈개질조당방전중획득료륙변형반도,병연구료전원공솔、담기류량대반도특성적영향.통과비교량충방전형성적반도발현:양기/담기혼합기체중형성륙변형반도소수전원공솔경고차구유경강적휘광배경.이용발사광보진단기술게시료방전형성적활성입자,분석인위아은태입자통과Penning전리혹Penning격발재방전중발휘료관건성작용.저불부유조우심입리해사빈개질조당방전적물리궤제,환대반도동역학적연구유삼고개치.
