高电压技术
高電壓技術
고전압기술
High Voltage Engineering
2015年
9期
2850-2855
,共6页
杨涓%冯冰冰%罗立涛%金逸舟%汤明杰
楊涓%馮冰冰%囉立濤%金逸舟%湯明傑
양연%풍빙빙%라립도%금일주%탕명걸
电子回旋共振等离子体%ECR中和器%电子束流%工质利用效率%电子损耗%氩气%氪气%引出电压
電子迴鏇共振等離子體%ECR中和器%電子束流%工質利用效率%電子損耗%氬氣%氪氣%引齣電壓
전자회선공진등리자체%ECR중화기%전자속류%공질이용효솔%전자손모%아기%극기%인출전압
electron cyclotron resonance plasma%ECR neutralizer%electron beam%mass utilization efficiency%discharge loss%argon%krypton%extraction voltage
为比较使用不同气体工质的电子回旋共振(ECR)中和器的性能,在真空环境下,用一个电子收集板模拟离子的作用,将电子电流从ECR中和器中引出,实验研究了以氩气和氪气为工质时,ECR中和器引出电子电流的大小以及中和器的性能.实验结果表明:以氩气为工质,ECR中和器在体积流量0.8 mL/min时,88.6V电压可引出103.8 mA的电子电流,工质利用效率和电子损耗分别为1.278 9 W/A和194.573W/A;以氪气为工质,ECR中和器在体积流量0.6 mL/min时,75V电压可引出108mA电子电流,工质利用效率和电子产生损耗分别为1.783 2W/A和176.7W/A.以氪气为工质的中和器性能明显优于氨气,但2种工质都可以满足ECR离子源中和离子束流的需要.
為比較使用不同氣體工質的電子迴鏇共振(ECR)中和器的性能,在真空環境下,用一箇電子收集闆模擬離子的作用,將電子電流從ECR中和器中引齣,實驗研究瞭以氬氣和氪氣為工質時,ECR中和器引齣電子電流的大小以及中和器的性能.實驗結果錶明:以氬氣為工質,ECR中和器在體積流量0.8 mL/min時,88.6V電壓可引齣103.8 mA的電子電流,工質利用效率和電子損耗分彆為1.278 9 W/A和194.573W/A;以氪氣為工質,ECR中和器在體積流量0.6 mL/min時,75V電壓可引齣108mA電子電流,工質利用效率和電子產生損耗分彆為1.783 2W/A和176.7W/A.以氪氣為工質的中和器性能明顯優于氨氣,但2種工質都可以滿足ECR離子源中和離子束流的需要.
위비교사용불동기체공질적전자회선공진(ECR)중화기적성능,재진공배경하,용일개전자수집판모의리자적작용,장전자전류종ECR중화기중인출,실험연구료이아기화극기위공질시,ECR중화기인출전자전류적대소이급중화기적성능.실험결과표명:이아기위공질,ECR중화기재체적류량0.8 mL/min시,88.6V전압가인출103.8 mA적전자전류,공질이용효솔화전자손모분별위1.278 9 W/A화194.573W/A;이극기위공질,ECR중화기재체적류량0.6 mL/min시,75V전압가인출108mA전자전류,공질이용효솔화전자산생손모분별위1.783 2W/A화176.7W/A.이극기위공질적중화기성능명현우우안기,단2충공질도가이만족ECR리자원중화리자속류적수요.
