光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
10期
2785-2793
,共9页
透镜%光学装调%中心偏差测量%联合变换相关%双相位编码%位移探测
透鏡%光學裝調%中心偏差測量%聯閤變換相關%雙相位編碼%位移探測
투경%광학장조%중심편차측량%연합변환상관%쌍상위편마%위이탐측
lens%optical alignment%centering error measurement%joint transform correlator%double phase-encoding%displacement measurement
基于双相位编码光学联合变换相关技术提出了一种测量透镜中心偏差的方法以确定偏差方向并提高测量精度.在经典联合变换相关原理基础之上,使用两个相位函数分别对参考图像和联合功率谱进行编码,并选用合适的滤波器消除旁瓣干扰,得到单个互相关峰的输出.利用该双相位编码后的联合变换相关技术探测不同目标图像相对于参考图像的位移矢量,并拟合圆.此拟合圆圆心到圆上点的矢量即为经自准直光学系统放大后的偏心矢量,从而同时确定了中心偏差的大小和方向.实验结果表明,通过双相位编码后的相关输出仅保留一个尖锐的相关峰,实现了位移矢量的亚像元探测;使用联合变换相关技术准确地测量了透镜的中心偏差,其测量结果的实验标准差为0.1 μm,误差绝对值最大为0.3μm,满足一般透镜中心偏差测量的要求.
基于雙相位編碼光學聯閤變換相關技術提齣瞭一種測量透鏡中心偏差的方法以確定偏差方嚮併提高測量精度.在經典聯閤變換相關原理基礎之上,使用兩箇相位函數分彆對參攷圖像和聯閤功率譜進行編碼,併選用閤適的濾波器消除徬瓣榦擾,得到單箇互相關峰的輸齣.利用該雙相位編碼後的聯閤變換相關技術探測不同目標圖像相對于參攷圖像的位移矢量,併擬閤圓.此擬閤圓圓心到圓上點的矢量即為經自準直光學繫統放大後的偏心矢量,從而同時確定瞭中心偏差的大小和方嚮.實驗結果錶明,通過雙相位編碼後的相關輸齣僅保留一箇尖銳的相關峰,實現瞭位移矢量的亞像元探測;使用聯閤變換相關技術準確地測量瞭透鏡的中心偏差,其測量結果的實驗標準差為0.1 μm,誤差絕對值最大為0.3μm,滿足一般透鏡中心偏差測量的要求.
기우쌍상위편마광학연합변환상관기술제출료일충측량투경중심편차적방법이학정편차방향병제고측량정도.재경전연합변환상관원리기출지상,사용량개상위함수분별대삼고도상화연합공솔보진행편마,병선용합괄적려파기소제방판간우,득도단개호상관봉적수출.이용해쌍상위편마후적연합변환상관기술탐측불동목표도상상대우삼고도상적위이시량,병의합원.차의합원원심도원상점적시량즉위경자준직광학계통방대후적편심시량,종이동시학정료중심편차적대소화방향.실험결과표명,통과쌍상위편마후적상관수출부보류일개첨예적상관봉,실현료위이시량적아상원탐측;사용연합변환상관기술준학지측량료투경적중심편차,기측량결과적실험표준차위0.1 μm,오차절대치최대위0.3μm,만족일반투경중심편차측량적요구.
