光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
10期
2819-2826
,共8页
李龙响%郑立功%邓伟杰%王孝坤%李丽富%白杨%张学军
李龍響%鄭立功%鄧偉傑%王孝坤%李麗富%白楊%張學軍
리룡향%정립공%산위걸%왕효곤%리려부%백양%장학군
光学制造%磁流变抛光%四轴联动%曲面加工%变去除函数%光栅式轨迹
光學製造%磁流變拋光%四軸聯動%麯麵加工%變去除函數%光柵式軌跡
광학제조%자류변포광%사축련동%곡면가공%변거제함수%광책식궤적
optical fabrication%magnetorheological finishing%4-axis machine%curve surface machining%variable removal function%raster path
以永磁型磁流变抛光机为基础,提出了在光栅式加工轨迹下结合四轴联动机床(不含抛光轮转动轴)和变去除函数实现磁流变抛光技术确定性加工曲面的方法.讨论了曲面上光栅式加工轨迹等面积规划原则和基于矩阵乘积运算的驻留时间求解算法.分析了磁流变四轴联动机床的机械补偿方式,同时以变去除函数模型为基础从算法上实现了机械的剩余补偿.应用以氧化铈为抛光粉的水基磁流液对口径为80 mm、曲率半径为800 mm的BK7材料凸球面进行了修形验证实验,一次加工(5.5 min)后显示:面形误差分布峰谷值(PV)和均方根值(RMS)从117.47 nm和22.78 nm分别收敛到60.80 nm和6.28 nm.实验结果表明:结合四轴联动的低自由度机床和变去除函数算法补偿的磁流变加工工艺能够有效地实现球面及低陡度非球面等曲面的高效确定性加工,为磁流变抛光在光学制造中的应用提供了有力的支持.
以永磁型磁流變拋光機為基礎,提齣瞭在光柵式加工軌跡下結閤四軸聯動機床(不含拋光輪轉動軸)和變去除函數實現磁流變拋光技術確定性加工麯麵的方法.討論瞭麯麵上光柵式加工軌跡等麵積規劃原則和基于矩陣乘積運算的駐留時間求解算法.分析瞭磁流變四軸聯動機床的機械補償方式,同時以變去除函數模型為基礎從算法上實現瞭機械的剩餘補償.應用以氧化鈰為拋光粉的水基磁流液對口徑為80 mm、麯率半徑為800 mm的BK7材料凸毬麵進行瞭脩形驗證實驗,一次加工(5.5 min)後顯示:麵形誤差分佈峰穀值(PV)和均方根值(RMS)從117.47 nm和22.78 nm分彆收斂到60.80 nm和6.28 nm.實驗結果錶明:結閤四軸聯動的低自由度機床和變去除函數算法補償的磁流變加工工藝能夠有效地實現毬麵及低陡度非毬麵等麯麵的高效確定性加工,為磁流變拋光在光學製造中的應用提供瞭有力的支持.
이영자형자류변포광궤위기출,제출료재광책식가공궤적하결합사축련동궤상(불함포광륜전동축)화변거제함수실현자류변포광기술학정성가공곡면적방법.토론료곡면상광책식가공궤적등면적규화원칙화기우구진승적운산적주류시간구해산법.분석료자류변사축련동궤상적궤계보상방식,동시이변거제함수모형위기출종산법상실현료궤계적잉여보상.응용이양화시위포광분적수기자류액대구경위80 mm、곡솔반경위800 mm적BK7재료철구면진행료수형험증실험,일차가공(5.5 min)후현시:면형오차분포봉곡치(PV)화균방근치(RMS)종117.47 nm화22.78 nm분별수렴도60.80 nm화6.28 nm.실험결과표명:결합사축련동적저자유도궤상화변거제함수산법보상적자류변가공공예능구유효지실현구면급저두도비구면등곡면적고효학정성가공,위자류변포광재광학제조중적응용제공료유력적지지.
