光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
10期
2810-2818
,共9页
孔全存%刘国栋%李勇%周凯
孔全存%劉國棟%李勇%週凱
공전존%류국동%리용%주개
微细电解加工%中空电极%制备工艺%流动仿真%微细孔%微细槽
微細電解加工%中空電極%製備工藝%流動倣真%微細孔%微細槽
미세전해가공%중공전겁%제비공예%류동방진%미세공%미세조
micro Electrochemical Machining (ECM)%hollow electrode%preparation process%flow simulation%micro hole%micro groove
为了改进加工间隙内电解产物的排出条件和加速电解液的更新,提出了一种嵌套式微细中空电极的精确可控焊接制备工艺.仿真分析了电极的过流特性,优化了电极长度,并进行了性能测试及加工实验.通过穿丝、黏结、嵌套尺寸及位置调整和焊接工序,制备出加工段内径为65μm、外径为130 μm、长3.25 mm左右,后段便于装夹和连通的嵌套式中空电极.在供液压力为1.15 MPa时,其出口流速可达i0 m/s左右.利用制备的中空电极,开展微细孔电解加工实验,在0.5 mm厚不锈钢片上加工出最小入口孔径约为157 μm,出口孔径约为133 μm的微细孔,并将其延伸应用于微结构加工中,铣削出了长554 μm、宽160μm、深224 μm的微细T型槽.实验结果表明:制备的微细中空电极有效提高了加工间隙内电解液的流动特性,且连/导通可靠、装夹方便,适用于高深宽比微结构的电解加工.
為瞭改進加工間隙內電解產物的排齣條件和加速電解液的更新,提齣瞭一種嵌套式微細中空電極的精確可控銲接製備工藝.倣真分析瞭電極的過流特性,優化瞭電極長度,併進行瞭性能測試及加工實驗.通過穿絲、黏結、嵌套呎吋及位置調整和銲接工序,製備齣加工段內徑為65μm、外徑為130 μm、長3.25 mm左右,後段便于裝夾和連通的嵌套式中空電極.在供液壓力為1.15 MPa時,其齣口流速可達i0 m/s左右.利用製備的中空電極,開展微細孔電解加工實驗,在0.5 mm厚不鏽鋼片上加工齣最小入口孔徑約為157 μm,齣口孔徑約為133 μm的微細孔,併將其延伸應用于微結構加工中,鐉削齣瞭長554 μm、寬160μm、深224 μm的微細T型槽.實驗結果錶明:製備的微細中空電極有效提高瞭加工間隙內電解液的流動特性,且連/導通可靠、裝夾方便,適用于高深寬比微結構的電解加工.
위료개진가공간극내전해산물적배출조건화가속전해액적경신,제출료일충감투식미세중공전겁적정학가공한접제비공예.방진분석료전겁적과류특성,우화료전겁장도,병진행료성능측시급가공실험.통과천사、점결、감투척촌급위치조정화한접공서,제비출가공단내경위65μm、외경위130 μm、장3.25 mm좌우,후단편우장협화련통적감투식중공전겁.재공액압력위1.15 MPa시,기출구류속가체i0 m/s좌우.이용제비적중공전겁,개전미세공전해가공실험,재0.5 mm후불수강편상가공출최소입구공경약위157 μm,출구공경약위133 μm적미세공,병장기연신응용우미결구가공중,선삭출료장554 μm、관160μm、심224 μm적미세T형조.실험결과표명:제비적미세중공전겁유효제고료가공간극내전해액적류동특성,차련/도통가고、장협방편,괄용우고심관비미결구적전해가공.
