光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
10期
2843-2851
,共9页
光栅刻划%光栅铝膜%玻璃基底%本构关系%纳米压痕
光柵刻劃%光柵鋁膜%玻璃基底%本構關繫%納米壓痕
광책각화%광책려막%파리기저%본구관계%납미압흔
grating ruling%grating aluminum film%glass substrate%constitutive relationship%nano-indentation
基于应变梯度理论,提出了一种玻璃基底光栅铝膜本构关系的表征方法.建立了包含基底参数和铝膜参数的本构关系数学模型,并逐一表征了相关参数.进行了79 g/mm中阶梯光栅铝膜的纳米压痕实验,验证了上述本构关系表征过程的正确性.提出了光栅薄膜材料和基底材料都具有尺度效应的假设,并应用纳米压痕实验对铝膜的尺度效应和基底效应进行了实验表征.对光栅铝膜压痕实验与含基底压深实验的结果进行了比较,结果显示,在有无基底条件下,压痕结果在应力方向上相差0.8倍,在应变方向上相差3倍.进行了光栅刻划实验,结果显示压痕实验对刻划实验具有重要的指导作用.研究过程及研究结果表明:理论分析和两种实验可有效地分析光栅刻划过程,有助于在实际光栅刻划过程中减小误差,对光栅刻划的工艺过程具有较好的理论指导意义.
基于應變梯度理論,提齣瞭一種玻璃基底光柵鋁膜本構關繫的錶徵方法.建立瞭包含基底參數和鋁膜參數的本構關繫數學模型,併逐一錶徵瞭相關參數.進行瞭79 g/mm中階梯光柵鋁膜的納米壓痕實驗,驗證瞭上述本構關繫錶徵過程的正確性.提齣瞭光柵薄膜材料和基底材料都具有呎度效應的假設,併應用納米壓痕實驗對鋁膜的呎度效應和基底效應進行瞭實驗錶徵.對光柵鋁膜壓痕實驗與含基底壓深實驗的結果進行瞭比較,結果顯示,在有無基底條件下,壓痕結果在應力方嚮上相差0.8倍,在應變方嚮上相差3倍.進行瞭光柵刻劃實驗,結果顯示壓痕實驗對刻劃實驗具有重要的指導作用.研究過程及研究結果錶明:理論分析和兩種實驗可有效地分析光柵刻劃過程,有助于在實際光柵刻劃過程中減小誤差,對光柵刻劃的工藝過程具有較好的理論指導意義.
기우응변제도이론,제출료일충파리기저광책려막본구관계적표정방법.건립료포함기저삼수화려막삼수적본구관계수학모형,병축일표정료상관삼수.진행료79 g/mm중계제광책려막적납미압흔실험,험증료상술본구관계표정과정적정학성.제출료광책박막재료화기저재료도구유척도효응적가설,병응용납미압흔실험대려막적척도효응화기저효응진행료실험표정.대광책려막압흔실험여함기저압심실험적결과진행료비교,결과현시,재유무기저조건하,압흔결과재응력방향상상차0.8배,재응변방향상상차3배.진행료광책각화실험,결과현시압흔실험대각화실험구유중요적지도작용.연구과정급연구결과표명:이론분석화량충실험가유효지분석광책각화과정,유조우재실제광책각화과정중감소오차,대광책각화적공예과정구유교호적이론지도의의.
