光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
Optics and Precision Engineering
2015年
10期
2835-2842
,共8页
杨帅%沙巍%陈长征%张星祥%任建岳
楊帥%沙巍%陳長徵%張星祥%任建嶽
양수%사외%진장정%장성상%임건악
离轴长条形反射镜%检测支撑%面形误差%集成仿真与优化%离轴三反相机
離軸長條形反射鏡%檢測支撐%麵形誤差%集成倣真與優化%離軸三反相機
리축장조형반사경%검측지탱%면형오차%집성방진여우화%리축삼반상궤
off-axis rectangular mirror%detection support%surface shape error%integrated simulation and optimization%Three Mirror Anastigmat(TMA) camera
针对大口径离轴长条形反射镜光轴水平向检测的需要,设计了一套检测支撑结构.优化了结构参数,实现了由支撑结构引起的镜面面形误差最小化.通过比较长条形反射镜光轴水平向检测支撑的级联多点支撑结构,选择了结构简单、扩展性和调整性优良的两点单层固定支撑结构.利用集成仿真与优化方法,分析计算反射镜镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势,确定了最优支撑间隔.最后,利用干涉仪结合补偿器的检测方式,对不同支撑间隔工况下镜面面形进行检测,验证了仿真分析的可靠性.结果表明:在支撑间隔为564 mm时,由检测支撑引起的镜面面形误差最小(RMS=8.26 nm),干涉检测得到的镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势与仿真得到的趋势相符,仿真结果可靠性高.提出的方法可实施性好,可推广到其他大口径离轴长条形反射镜的设计和检测中,为离轴三反(TMA)相机的设计提供技术基础.
針對大口徑離軸長條形反射鏡光軸水平嚮檢測的需要,設計瞭一套檢測支撐結構.優化瞭結構參數,實現瞭由支撐結構引起的鏡麵麵形誤差最小化.通過比較長條形反射鏡光軸水平嚮檢測支撐的級聯多點支撐結構,選擇瞭結構簡單、擴展性和調整性優良的兩點單層固定支撐結構.利用集成倣真與優化方法,分析計算反射鏡鏡麵麵形誤差隨支撐間隔的變化趨勢,確定瞭最優支撐間隔.最後,利用榦涉儀結閤補償器的檢測方式,對不同支撐間隔工況下鏡麵麵形進行檢測,驗證瞭倣真分析的可靠性.結果錶明:在支撐間隔為564 mm時,由檢測支撐引起的鏡麵麵形誤差最小(RMS=8.26 nm),榦涉檢測得到的鏡麵麵形誤差隨支撐間隔的變化趨勢與倣真得到的趨勢相符,倣真結果可靠性高.提齣的方法可實施性好,可推廣到其他大口徑離軸長條形反射鏡的設計和檢測中,為離軸三反(TMA)相機的設計提供技術基礎.
침대대구경리축장조형반사경광축수평향검측적수요,설계료일투검측지탱결구.우화료결구삼수,실현료유지탱결구인기적경면면형오차최소화.통과비교장조형반사경광축수평향검측지탱적급련다점지탱결구,선택료결구간단、확전성화조정성우량적량점단층고정지탱결구.이용집성방진여우화방법,분석계산반사경경면면형오차수지탱간격적변화추세,학정료최우지탱간격.최후,이용간섭의결합보상기적검측방식,대불동지탱간격공황하경면면형진행검측,험증료방진분석적가고성.결과표명:재지탱간격위564 mm시,유검측지탱인기적경면면형오차최소(RMS=8.26 nm),간섭검측득도적경면면형오차수지탱간격적변화추세여방진득도적추세상부,방진결과가고성고.제출적방법가실시성호,가추엄도기타대구경리축장조형반사경적설계화검측중,위리축삼반(TMA)상궤적설계제공기술기출.