CAJ | 학술논문

采用直圆型柔性铰链设计了承载能力较大的双柔性平行六连杆微纳定位平台,并对其性能进行了测试.基于柔性铰链经典刚度公式计算了直圆型柔性铰链转动刚度,推导了双柔性平行六连杆微动平台在运动方向的整体刚度函数;建立了平台的动力学模型,得到了平台的固有频率解析式.基于静动态特性优化设计了双柔性平行六连杆微纳定位平台,得到了平台的优化参数.基于激光干涉仪和多普勒激光测振仪建立了平台的静动态特性测试系统.对微纳定位平台进行了试验和测试,结果显示:刚度的理论计算值为7.92 N/μm,试验值为7.44 N/μm,误差为6.5％;固有频率的理论模型值为349.9 Hz,实验值为342.2 Hz,误差为2.3％.空载和加载为250、500、2 000、2 250、2 500 g时的平台位移表明加载不均匀会对平台输出位移产生较大的影响,当加载为2 500 g时,不均匀加载对位移的影响量约为均匀加载的5倍.此外,平台最大位移为56.59 μm.重复定位精度测试显示,在施加电压50、100、150 V时,定位平台在同一输入电压下的位移最大偏差为0.896 μm.实验结果表明,建立的双柔性平行六连杆的刚度和固有频率计算模型是正确的,设计的微动平台的最大位移及精度可满足设计要求.
채용직원형유성교련설계료승재능력교대적쌍유성평행륙련간미납정위평태,병대기성능진행료측시.기우유성교련경전강도공식계산료직원형유성교련전동강도,추도료쌍유성평행륙련간미동평태재운동방향적정체강도함수;건립료평태적동역학모형,득도료평태적고유빈솔해석식.기우정동태특성우화설계료쌍유성평행륙련간미납정위평태,득도료평태적우화삼수.기우격광간섭의화다보륵격광측진의건립료평태적정동태특성측시계통.대미납정위평태진행료시험화측시,결과현시:강도적이론계산치위7.92 N/μm,시험치위7.44 N/μm,오차위6.5％;고유빈솔적이론모형치위349.9 Hz,실험치위342.2 Hz,오차위2.3％.공재화가재위250、500、2 000、2 250、2 500 g시적평태위이표명가재불균균회대평태수출위이산생교대적영향,당가재위2 500 g시,불균균가재대위이적영향량약위균균가재적5배.차외,평태최대위이위56.59 μm.중복정위정도측시현시,재시가전압50、100、150 V시,정위평태재동일수입전압하적위이최대편차위0.896 μm.실험결과표명,건립적쌍유성평행륙련간적강도화고유빈솔계산모형시정학적,설계적미동평태적최대위이급정도가만족설계요구.