机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
Machinery Design & Manufacture
2015年
11期
26-30
,共5页
李茂%毕树生%王玉亮%李晓来
李茂%畢樹生%王玉亮%李曉來
리무%필수생%왕옥량%리효래
耦合误差%解耦%压电陶瓷%柔性铰链%精密定位
耦閤誤差%解耦%壓電陶瓷%柔性鉸鏈%精密定位
우합오차%해우%압전도자%유성교련%정밀정위
Cross-Coupling Error%Decoupling%Piezoelectric Actuator%Flexible Hinge%Precision Positioning
设计了一款基于压电陶瓷和柔性铰链的二维解耦精密定位平台,平台采用对称布置的双平行四杆复合机构实现解耦.基于Awtar模型,对平台载荷-位移关系进行分析,推导出平台在X、Y方向上的位移及耦合位移表达式.ANSYS有限元仿真表明,最大耦合发生在平台最大为一处.在平台位移最大时,理论计算的耦合误差达到最大,为0.39％.这与有限元仿真分析得到的0.33％的结果接近.最后,利用显微视觉测量方法对平台X和Y方向的耦合误差进行了实验测试,实验结果表明,耦合误差随着平台运动位移的增大而增大,最大值为1.8％,与理论仿真趋势吻合.
設計瞭一款基于壓電陶瓷和柔性鉸鏈的二維解耦精密定位平檯,平檯採用對稱佈置的雙平行四桿複閤機構實現解耦.基于Awtar模型,對平檯載荷-位移關繫進行分析,推導齣平檯在X、Y方嚮上的位移及耦閤位移錶達式.ANSYS有限元倣真錶明,最大耦閤髮生在平檯最大為一處.在平檯位移最大時,理論計算的耦閤誤差達到最大,為0.39％.這與有限元倣真分析得到的0.33％的結果接近.最後,利用顯微視覺測量方法對平檯X和Y方嚮的耦閤誤差進行瞭實驗測試,實驗結果錶明,耦閤誤差隨著平檯運動位移的增大而增大,最大值為1.8％,與理論倣真趨勢吻閤.
설계료일관기우압전도자화유성교련적이유해우정밀정위평태,평태채용대칭포치적쌍평행사간복합궤구실현해우.기우Awtar모형,대평태재하-위이관계진행분석,추도출평태재X、Y방향상적위이급우합위이표체식.ANSYS유한원방진표명,최대우합발생재평태최대위일처.재평태위이최대시,이론계산적우합오차체도최대,위0.39％.저여유한원방진분석득도적0.33％적결과접근.최후,이용현미시각측량방법대평태X화Y방향적우합오차진행료실험측시,실험결과표명,우합오차수착평태운동위이적증대이증대,최대치위1.8％,여이론방진추세문합.
