华南师范大学学报（自然科学版）
華南師範大學學報（自然科學版）
화남사범대학학보（자연과학판）
Journal of South China Normal University（Natural Science Edition）
2015年
5期
33-37
,共5页
崔婧%唐吉玉%伍达将%刘洋%朱永安
崔婧%唐吉玉%伍達將%劉洋%硃永安
최청%당길옥%오체장%류양%주영안
KMC方法%单层ES势垒%多层ES势垒%生长温度%粗糙度
KMC方法%單層ES勢壘%多層ES勢壘%生長溫度%粗糙度
KMC방법%단층ES세루%다층ES세루%생장온도%조조도
Kinetic Monte Carlo method%mono-layer Ehrlich-Schwoebel barrier%multi-layer Ehrlich-Schwoebel barrier%temperature%roughness
以Cu为原型,利用动力学蒙特卡洛(KMC)方法模拟了在一定的沉积速率下,单层、多层台阶Ehrlich-Schwoebel (ES)势及温度对成膜质量的影响.结果表明,在一定沉积速率和ES势垒下,薄膜的粗糙度在一定范围内随着温度的升高而降低,当多层ES势垒大于单层ES势垒时,此温度范围受单层ES势垒的影响,而与多层ES势垒关系不大;当单层ES势垒大于多层ES势垒时,多层ES势垒与粗糙度下降的起始温度密切相关,单层ES势垒与粗糙度趋于平稳的温度相关.
以Cu為原型,利用動力學矇特卡洛(KMC)方法模擬瞭在一定的沉積速率下,單層、多層檯階Ehrlich-Schwoebel (ES)勢及溫度對成膜質量的影響.結果錶明,在一定沉積速率和ES勢壘下,薄膜的粗糙度在一定範圍內隨著溫度的升高而降低,噹多層ES勢壘大于單層ES勢壘時,此溫度範圍受單層ES勢壘的影響,而與多層ES勢壘關繫不大;噹單層ES勢壘大于多層ES勢壘時,多層ES勢壘與粗糙度下降的起始溫度密切相關,單層ES勢壘與粗糙度趨于平穩的溫度相關.
이Cu위원형,이용동역학몽특잡락(KMC)방법모의료재일정적침적속솔하,단층、다층태계Ehrlich-Schwoebel (ES)세급온도대성막질량적영향.결과표명,재일정침적속솔화ES세루하,박막적조조도재일정범위내수착온도적승고이강저,당다층ES세루대우단층ES세루시,차온도범위수단층ES세루적영향,이여다층ES세루관계불대;당단층ES세루대우다층ES세루시,다층ES세루여조조도하강적기시온도밀절상관,단층ES세루여조조도추우평은적온도상관.
