科技风
科技風
과기풍
Technology Wind
2015年
18期
53
,共1页
光杠杆%等厚干涉%光路可逆%微位移
光槓桿%等厚榦涉%光路可逆%微位移
광강간%등후간섭%광로가역%미위이
本文介绍了在多级光杠杆测量微位移的基础上,结合光学的等厚干涉原理以及光路可逆原理,设计出一种理论上测量精度达1nm以下微位移测量方案.相对于纯粹的光杠杆测量微位移方法而言,该方法在系统设计上更具优势.
本文介紹瞭在多級光槓桿測量微位移的基礎上,結閤光學的等厚榦涉原理以及光路可逆原理,設計齣一種理論上測量精度達1nm以下微位移測量方案.相對于純粹的光槓桿測量微位移方法而言,該方法在繫統設計上更具優勢.
본문개소료재다급광강간측량미위이적기출상,결합광학적등후간섭원리이급광로가역원리,설계출일충이론상측량정도체1nm이하미위이측량방안.상대우순수적광강간측량미위이방법이언,해방법재계통설계상경구우세.
